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公开(公告)号：CN103806097A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310495624.0
申请日：2013-10-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明涉及硅循环再利用系统及其方法。本发明的目的在于提供一种能够从在硅的切片加工中所排出的硅泥中对更多的硅量进行再利用，并能够形成以碳元素、氧元素为首的杂质少的硅的硅循环再利用系统及其方法。由从对硅锭进行切片加工时所产生的废液中回收硅泥的回收装置（S20）、对所述已回收的硅泥照射微波来进行加热的微波加热装置（S30）、将所述已加热的硅泥熔融并使其单方向凝固来形成硅锭的熔融/凝固装置（S40）构成。而且，通过按上述装置的顺序处理硅泥，能够对碳元素、氧元素等的杂质少的更多的硅量进行再利用。
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