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公开(公告)号:CN1078119C
公开(公告)日:2002-01-23
申请号:CN95105217.9
申请日:1995-04-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B23K26/02
CPC classification number: B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/351
Abstract: 本发明提供一种可以高精度进行激光加工的激光加工装置。该装置包括:激光光源;将激光作为加工激光会聚于被加工物(17)表面的会聚光学系统(11~15);将与前述加工激光(7a)相同波长的激光用作照明激光,照明前述被加工物(17)表面的照明光学系统(34、22、22a、22b、23);通过前述会聚光学系统,接收前述被加工物(17)反射的照明激光(7b),进行位置识别的摄像装置。
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公开(公告)号:CN1117421A
公开(公告)日:1996-02-28
申请号:CN95105217.9
申请日:1995-04-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B23K26/00
CPC classification number: B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/351
Abstract: 本发明提供一种可以高精度进行激光加工的激光加工装置。该装置包括:激光光源;将激光作为加工激光会聚于被加工物(17)表面的会聚光学系统(11~15);将与前述加工激光(7a)相同波长的激光用作照明激光,照明前述被加工物(17)表面的照明光学系统(34、22、22a、22b、23);通过前述会聚光学系统,接收前述被加工物(17)反射的照明激光(7b),进行位置识别的摄像装置。
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