公开(公告)号：CN1156267A

公开(公告)日：1997-08-06

申请号：CN96103081.X

申请日：1996-03-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 长野宽之 ,  井上隆史 ,  上野和夫 ,  持田省郎 ,  上田修治

IPC: G03F7/20

CPC classification number: H01J9/2274 ,  H01J9/2272 ,  H01J9/2273

Abstract: 本发明的曝光装置，由椭圆反射镜2使光源1产生的光会聚。会聚光在棒状光积分器中积分并均匀，从光积分器3另一端辐射。透镜系统7辐射光积分器的出射光10，投影到显像管的显示区域6a。透镜系统7具有在其虚像区形成第一和第二虚像焦点的非点像差。辐射光表观上由第一虚像焦点在垂直方向上辐射，由第二虚像焦点在水平方向上辐射。上述第一和第二虚像焦点分别定位于该显像管垂直和水平偏转装置相对应的位置上。因而，偏转电子束可以正确地与图像信号同步在G、B、R点阵上扫描。

公开(公告)号：CN1056108C

公开(公告)日：2000-09-06

申请号：CN94108466.3

申请日：1994-07-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 岡田俊治 ,  中井出 ,  植杉雄二 ,  持田省郎

IPC: B23K26/00

Abstract: 本发明为提供能高速进行高精度孔加工的二氧化碳激光加工装置，包括Co2激光振荡器，旋转动作的反射镜，使通过反射镜而反射、扫描的激光在规定平面上聚焦的光学构件，具有在进行任意孔加工中能达到每秒加工100个孔以上的加工速度的显著效果。

公开(公告)号：CN1102796A

公开(公告)日：1995-05-24

申请号：CN94108466.3

申请日：1994-07-16

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 岡田俊治 ,  中井出 ,  植杉雄二 ,  持田省郎

IPC: B23K26/00

Abstract: 本发明为提供能高速进行高精度孔加工的二氧化碳激光加工装置，包括Co2激光振荡器，旋转动作的反射镜，使通过反射镜而反射、扫描的激光在规定平面上聚焦的光学构件，具有在进行任意孔加工中能达到每秒加工100个孔以上的加工速度的显著效果。

公开(公告)号：CN1078119C

公开(公告)日：2002-01-23

申请号：CN95105217.9

申请日：1995-04-26

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 栗山勝裕 ,  岡田俊治 ,  植杉雄二 ,  持田省郎 ,  山口和羲

IPC: B23K26/02

CPC classification number: B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/351

Abstract: 本发明提供一种可以高精度进行激光加工的激光加工装置。该装置包括：激光光源；将激光作为加工激光会聚于被加工物(17)表面的会聚光学系统(11～15)；将与前述加工激光(7a)相同波长的激光用作照明激光，照明前述被加工物(17)表面的照明光学系统(34、22、22a、22b、23)；通过前述会聚光学系统，接收前述被加工物(17)反射的照明激光(7b)，进行位置识别的摄像装置。

公开(公告)号：CN1117421A

公开(公告)日：1996-02-28

申请号：CN95105217.9

申请日：1995-04-26

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 栗山勝裕 ,  岡田俊治 ,  植杉雄二 ,  持田省郎 ,  山口和羲

IPC: B23K26/00

CPC classification number: B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/043 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/351

Abstract: 本发明提供一种可以高精度进行激光加工的激光加工装置。该装置包括：激光光源；将激光作为加工激光会聚于被加工物(17)表面的会聚光学系统(11～15)；将与前述加工激光(7a)相同波长的激光用作照明激光，照明前述被加工物(17)表面的照明光学系统(34、22、22a、22b、23)；通过前述会聚光学系统，接收前述被加工物(17)反射的照明激光(7b)，进行位置识别的摄像装置。

公开(公告)号：CN1080897C

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：CN96103081.X

申请日：1996-03-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 长野宽之 ,  井上隆史 ,  上野和夫 ,  持田省郎 ,  上田修治

IPC: G03F7/20 ,  H01J9/227

CPC classification number: H01J9/2274 ,  H01J9/2272 ,  H01J9/2273

Abstract: 本发明的曝光装置，由椭圆反射镜2使光源1产生的光会聚。会聚光在棒状光积分器中积分并均匀，从光积分器3另一端辐射。透镜系统7辐射光积分器的出射光10，投影到显像管的显示区域6a。透镜系统7具有在其虚像区形成第一和第二虚像焦点的非点像差。辐射光表观上由第一虚像焦点在垂直方向上辐射，由第二虚像焦点在水平方向上辐射。上述第一和第二虚像焦点分别定位于该显像管垂直和水平偏转装置相对应的位置上。因而，偏转电子束可以正确地与图像信号同步在G、B、R点阵上扫描。