公开(公告)号：CN1430247A

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：CN02158815.5

申请日：2002-12-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 住田贤二 ,  奥村智洋 ,  前川幸弘 ,  中山一郎 ,  筱原己拔 ,  神田稔 ,  又村慎一

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32183

Abstract: 本发明提供一种匹配电路，该匹配电路能够实现很宽的匹配范围并且相对于负荷状态的变化稳定。第一可变电抗元件(32)的一端连接到匹配电路(30)的输入端子(31)上。第一可变电抗元件(32)的另一端连接到串联的第一固定电抗元件(33a)和第二固定电抗元件(33b)之间的点上。第一固定电抗元件(33a)接地，并且第二固定电抗元件(33b)连接到第二可变电抗元件(36)的一端上并且连接到带状线(37)的一端上。第二可变电抗元件(36)的另一端接地，并且带状线(37)的另一端连接到输出端子(38)上。

公开(公告)号：CN1195318C

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN02158815.5

申请日：2002-12-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 住田贤二 ,  奥村智洋 ,  前川幸弘 ,  中山一郎 ,  筱原己拔 ,  神田稔 ,  又村慎一

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32183

Abstract: 本发明提供一种匹配电路，该匹配电路能够实现很宽的匹配范围并且相对于负荷状态的变化稳定。第一可变电抗元件(32)的一端连接到匹配电路(30)的输入端子(31)上。第一可变电抗元件(32)的另一端连接到串联的第一固定电抗元件(33a)和第二固定电抗元件(33b)之间的点上。第一固定电抗元件(33a)接地，并且第二固定电抗元件(33b)连接到第二可变电抗元件(36)的一端上并且连接到带状线(37)的一端上。第二可变电抗元件(36)的另一端接地，并且带状线(37)的另一端连接到输出端子(38)上。