公开(公告)号：CN1078358C

公开(公告)日：2002-01-23

申请号：CN96102939.0

申请日：1996-03-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 长野宽之 ,  井上隆史 ,  山下博 ,  佐藤健夫 ,  藤田佳児

IPC: G03F7/20 ,  F21V8/00

CPC classification number: G03F7/70075 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70691

Abstract: 一种照明装置，它备有对光源来的光聚光的聚光反射部件；对经该聚光反射部件的光接收积分并射出的棒状光学积分仪；和将经过该光学积分仪的光按预定大小作成适合于点照射的平行光束的投影透镜系统。该照明装置使用可获得光强度分布均匀光束的构造简单的棒状光学积分仪，从而能高解像度曝光并能小型化。

公开(公告)号：CN1156848A

公开(公告)日：1997-08-13

申请号：CN96102939.0

申请日：1996-03-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 长野宽之 ,  井上隆史 ,  山下博 ,  佐藤健夫 ,  藤田佳児

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70075 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70691

Abstract: 一种照明装置，它备有对光源来的光聚光的聚光反射部件；对经该聚光反射部件的光接收积分并射出的棒状光学积分仪；和将经过该光学积分仪的光按预定大小作成适合于点照射的平行光束的投影透镜系统。该照明装置使用可获得光强度分布均匀光束的构造简单的棒状光学积分仪，从而能高解像度曝光并能小型化。