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公开(公告)号:CN111380466B
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN201911373287.1
申请日:2019-12-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 吉田悟 , 长滨龙也 , 矶部仁志 , 山中雅史 , 老田直人 , 久保光司 , 宍户裕子 , 大庭信男 , 大竹贵久 , 松井大树 , 新井雅典 , 伊贺崎史朗 , 仓桥佑旗 , 酒井裕志 , 渡边裕
Abstract: 一种图像测定装置(1)兼做非接触形状测定装置使用。作为拍摄装置,具有:图像传感器(14);可变焦距透镜(液体透镜单元(13)),其配置于从工件(9)到图像传感器(14)的光轴(Ai)上;控制装置(拍摄用透镜控制部(30)、图像测定处理部(51)),其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器(14)的检测图像。并且,作为非接触位移检测装置,具有:图像传感器(24);可变焦距透镜(液体透镜单元(23)),其配置于从工件(9)到图像传感器(24)的光轴(Ad)上;控制装置(位移检测用透镜控制部(40)、形状测定处理部(53)),其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器(24)的检测图像。
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公开(公告)号:CN111380466A
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201911373287.1
申请日:2019-12-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 吉田悟 , 长滨龙也 , 矶部仁志 , 山中雅史 , 老田直人 , 久保光司 , 宍户裕子 , 大庭信男 , 大竹贵久 , 松井大树 , 新井雅典 , 伊贺崎史朗 , 仓桥佑旗 , 酒井裕志 , 渡边裕
Abstract: 一种图像测定装置(1)兼做非接触形状测定装置使用。作为拍摄装置,具有:图像传感器(14);可变焦距透镜(液体透镜单元(13)),其配置于从工件(9)到图像传感器(14)的光轴(Ai)上;控制装置(拍摄用透镜控制部(30)、图像测定处理部(51)),其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器(14)的检测图像。并且,作为非接触位移检测装置,具有:图像传感器(24);可变焦距透镜(液体透镜单元(23)),其配置于从工件(9)到图像传感器(24)的光轴(Ad)上;控制装置(位移检测用透镜控制部(40)、形状测定处理部(53)),其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器(24)的检测图像。
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公开(公告)号:CN113031132A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202011446274.5
申请日:2020-12-09
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种适配器光学系统及焦距可变光学系统,适配器光学系统(1A)是将由对象物(S)反射而通过成像透镜(2A)的反射光引导至液体共振式透镜(3)的光学系统,并具备:可拆装地配置在通过成像透镜(2A)的反射光入射的位置,并构成像侧远心光学系统的第一透镜单元(11);配置在通过第一透镜单元(11)的反射光入射的位置,并且与液体共振式透镜(3)一起构成有限远校正光学系统的第二透镜单元(12)。
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公开(公告)号:CN113138434B
公开(公告)日:2023-12-19
申请号:CN202110073563.3
申请日:2021-01-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及焦距可变光学系统。焦距可变光学系统(10)具备:成像透镜(3),对来自物镜(2)的平行光束进行汇聚并形成中间像;中继系统及第二中继透镜(42)并将中间像中继到无限远;以及液体共振式的透镜系统(5),被配置在第一中继透镜(41)与第二中继透镜(42)之间,透镜系统(5)的前侧主点被配置成,相对于物镜(2)的出射光瞳而共轭,满足以下的式(1):90≤fTube/fR1≤2.15…(1),其中,fTube:成像透镜的焦距;fR1:第一中继透镜(41)的焦距。(4),从物体侧起依次包含第一中继透镜(41)以
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公开(公告)号:CN105301751B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201510282946.6
申请日:2015-05-28
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种焦点检测单元及光学设备。其中,焦点检测单元用于调整由光学系统形成的物体的图像的焦点,所述焦点检测单元包括:第一出射部、第二出射部以及投射光学系统。所述第一出射部包括配置为基于入射光生成第一图案图像的第一光调制元件,并且配置为射出所生成的第一图案图像。所述第二出射部包括配置为基于入射光生成第二图案图像的第二光调制元件,并且配置为射出所生成的第二图案图像。所述投射光学系统配置为投射所射出的第一图案图像和所射出的第二图案图像,使得所射出的第一图案图像和所射出的第二图案图像在所述光学系统的聚焦位置处具有预定位置关系。
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公开(公告)号:CN108254814A
公开(公告)日:2018-07-06
申请号:CN201711443370.2
申请日:2017-12-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B3/14
Abstract: 一种可变焦距透镜设备,包括透镜系统,其中折射率响应于输入驱动信号而改变;场透镜,其布置在与所述透镜系统相同的光轴上;图像检测器,其通过所述透镜系统和所述场透镜来检测被测对象的图像;脉冲照明器,其基于输入发光信号来提供所述被测对象的脉冲照明;温度传感器,其检测所述透镜系统内部的温度信息;以及控制器,其在基于所述温度信息校正所述发光信息的定时之外,还输出所述驱动信号和所述发光信号。
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公开(公告)号:CN105301751A
公开(公告)日:2016-02-03
申请号:CN201510282946.6
申请日:2015-05-28
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G02B21/244 , G02B7/34 , G02B7/38 , G02B21/245
Abstract: 本发明涉及一种焦点检测单元及光学设备。其中,焦点检测单元用于调整由光学系统形成的物体的图像的焦点,所述焦点检测单元包括:第一出射部、第二出射部以及投射光学系统。所述第一出射部包括配置为基于入射光生成第一图案图像的第一光调制元件,并且配置为射出所生成的第一图案图像。所述第二出射部包括配置为基于入射光生成第二图案图像的第二光调制元件,并且配置为射出所生成的第二图案图像。所述投射光学系统配置为投射所射出的第一图案图像和所射出的第二图案图像,使得所射出的第一图案图像和所射出的第二图案图像在所述光学系统的聚焦位置处具有预定位置关系。
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公开(公告)号:CN113031132B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202011446274.5
申请日:2020-12-09
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种适配器光学系统及焦距可变光学系统,适配器光学系统(1A)是将由对象物(S)反射而通过成像透镜(2A)的反射光引导至液体共振式透镜(3)的光学系统,并具备:可拆装地配置在通过成像透镜(2A)的反射光入射的位置,并构成像侧远心光学系统的第一透镜单元(11);配置在通过第一透镜单元(11)的反射光入射的位置,并且与液体共振式透镜(3)一起构成有限远校正光学系统的第二透镜单元(12)。
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公开(公告)号:CN113138434A
公开(公告)日:2021-07-20
申请号:CN202110073563.3
申请日:2021-01-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及焦距可变光学系统。焦距可变光学系统(10)具备:成像透镜(3),对来自物镜(2)的平行光束进行汇聚并形成中间像;中继系统(4),从物体侧起依次包含第一中继透镜(41)以及第二中继透镜(42)并将中间像中继到无限远;以及液体共振式的透镜系统(5),被配置在第一中继透镜(41)与第二中继透镜(42)之间,透镜系统(5)的前侧主点被配置成,相对于物镜(2)的出射光瞳而共轭,满足以下的式(1):90≤fTube/fR1≤2.15…(1),其中,fTube:成像透镜的焦距;fR1:第一中继透镜(41)的焦距。
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