公开(公告)号：CN107631712A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201710592508.9

申请日：2017-07-19

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 新井秀幸 ,  岩崎一也 ,  田中实 ,  上山修一 ,  日高和彦

IPC: G01B21/04

Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。

公开(公告)号：CN107631712B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201710592508.9

申请日：2017-07-19

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 新井秀幸 ,  岩崎一也 ,  田中实 ,  上山修一 ,  日高和彦

IPC: G01B21/04

Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。