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公开(公告)号：CN106054954A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610214156.9
申请日：2016-04-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 能够在X方向上移动的触针支撑部与固定部分离配置。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(+)方向上的端部，板簧的第二端固定到所述固定部，板簧的主表面面对X方向。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(‑)方向上的端部，该板簧的第二端固定到所述固定部，该板簧的主表面面对X方向。第一永磁体设置到触针支撑部的X(+)方向上的端部。第二永磁体设置到触针支撑部的X(‑)方向上的端部。第三永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第一永磁体和第三永磁体之间。第四永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第二永磁体和第四永磁体之间。
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公开(公告)号：CN114001672A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110842859.7
申请日：2021-07-26
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供形状测量方法。所述形状测量方法获得待测量透光对象的在厚度方向上的形状数据。形状测量设备，将周期性图案施加于光束，所述周期性图案在与光轴垂直的方向上具有周期性并且在与光轴垂直的方向上可移位；在与光轴平行的方向上相对地移位物镜的焦点，并且基于光检测器所检测到的光束的强度的振幅来计算待测量对象的面形状数据。然后，顶面测量步骤，获取待测量对象的顶面的面形状数据，以及底面测量步骤，通过经由待测量对象的顶面进行透射并将物镜的焦点与待测量对象的底面对准来获取待测量对象的底面的面形状数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108662996A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810259347.6
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性的测头。测头(10)包括以能够相对于外部的移动装置(100、200)装拆的方式设置的第1测量轴线用的第1滑动机构(50)、以能够移动的方式保持于该第1滑动机构(50)的第2测量轴线用的第2滑动机构(60)、以能够移动的方式保持于该第2滑动机构(60)的第3测量轴线用的第3滑动机构(70)、以能够移动的方式保持于该第3滑动机构(70)的探头(20)、将各滑动机构(50、60、70)的滑动件部(51、61、71)和引导部(52、62)连接起来的气缸(55、65、75)、以及与该测头(10)的测量姿势相应地分别变更向各气缸(55、65、75)供给的空气压力的自动调压调节器(57、67、77)。
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公开(公告)号：CN106054954B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201610214156.9
申请日：2016-04-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种探针测量力调整器，包括能够在X方向上移动的触针支撑部，其与固定部分离配置。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(+)方向上的端部，板簧的第二端固定到所述固定部，板簧的主表面面对X方向。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(‑)方向上的端部，该板簧的第二端固定到所述固定部，该板簧的主表面面对X方向。第一永磁体设置到触针支撑部的X(+)方向上的端部。第二永磁体设置到触针支撑部的X(‑)方向上的端部。第三永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第一永磁体和第三永磁体之间。第四永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第二永磁体和第四永磁体之间。
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公开(公告)号：CN107631712A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710592508.9
申请日：2017-07-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。
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公开(公告)号：CN108662996B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201810259347.6
申请日：2018-03-27
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性的测头。测头(10)包括以能够相对于外部的移动装置(100、200)装拆的方式设置的第1测量轴线用的第1滑动机构(50)、以能够移动的方式保持于该第1滑动机构(50)的第2测量轴线用的第2滑动机构(60)、以能够移动的方式保持于该第2滑动机构(60)的第3测量轴线用的第3滑动机构(70)、以能够移动的方式保持于该第3滑动机构(70)的探头(20)、将各滑动机构(50、60、70)的滑动件部(51、61、71)和引导部(52、62)连接起来的气缸(55、65、75)、以及与该测头(10)的测量姿势相应地分别变更向各气缸(55、65、75)供给的空气压力的自动调压调节器(57、67、77)。
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公开(公告)号：CN107631712B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201710592508.9
申请日：2017-07-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及测量探针和测量装置。一种探针，其包括：可动板，其上安装有能够接触被测量物的触针，可动板能够沿X方向移位；静止板，其配置成与可动板重叠；对置板，其面对可动板和静止板；具有弹性的可动侧连接板，可动侧连接板利用第一端连接器和第二端连接器中的每一者在至少三个位置处连接对置板，其中，第一端连接器定位在可动板的在X方向上的第一端侧，第二端连接器定位在可动板的在X方向上的第二端侧；以及静止侧连接板，其连接静止板和对置板。第一端连接器的在与X方向正交的Y方向上的全长与第二端连接器的在Y方向上的全长尺寸相同。
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