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公开(公告)号:CN115479554A
公开(公告)日:2022-12-16
申请号:CN202210167008.1
申请日:2022-02-23
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 利用单个光学探测器精确测量各种大小和几何形状的待测量物体。一种光学探测器(10)包括:辐照部(20),该辐照部利用激光辐照待测量物体;成像部(30),该成像部接收由待测量物体反射的激光并捕获待测量物体的图像;第一驱动部(40),该第一驱动部在激光对待测量物体的辐照方向上移动辐照部(20);以及第二驱动部(50),该第二驱动部在从待测量物体的激光的反射方向和与反射方向正交的正交方向上移动成像部(30)。
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