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公开(公告)号:CN101460649B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200780020459.6
申请日:2007-05-18
Applicant: 株式会社丰田中央研究所
IPC: C23C8/72 , C23C4/10 , C23C8/04 , C23C8/24 , C23C8/80 , C23C28/04 , B05D5/12 , C25D11/00 , H01M8/02 , H01M8/10
CPC classification number: H01M8/0215 , C22C14/00 , C23C4/10 , C23C4/18 , C23C8/42 , C23C8/80 , H01M8/0206 , H01M8/0228 , Y02P70/56
Abstract: 提供一种导电耐腐蚀材料(3),其以满足0.05≤[Ti]≤0.40、0.20≤[B]≤0.40和0.35≤[N]≤0.55(假设[Ti]+[B]+[N]=1)的原子比率含有(Ti)、硼(B)和氮(N)。此外,提供一种制造导电耐腐蚀材料(3)的方法,其中氮化硼粉末粘附到至少表面由钛或者钛合金制成的基片(2)的表面,然后加热。此外,提供一种制造导电耐腐蚀材料(3)的方法,其中至少表面由钛或者钛合金制成的基片(2)的表面被渗硼然后被加热。另外,提供一种制造导电耐腐蚀材料(3)的方法,其中通过将TiB2粉末喷涂到金属基片(2)的表面上而形成由TiB2颗粒形成的TiB2层,并且然后对该TiB2层渗氮。
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公开(公告)号:CN101460649A
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200780020459.6
申请日:2007-05-18
Applicant: 株式会社丰田中央研究所
IPC: C23C8/72 , C23C4/10 , C23C8/04 , C23C8/24 , C23C8/80 , C23C28/04 , B05D5/12 , C25D11/00 , H01M8/02 , H01M8/10
CPC classification number: H01M8/0215 , C22C14/00 , C23C4/10 , C23C4/18 , C23C8/42 , C23C8/80 , H01M8/0206 , H01M8/0228 , Y02P70/56
Abstract: 提供一种导电耐腐蚀材料(3),其以满足0.05≤[Ti]≤0.40、0.20≤[B]≤0.40和0.35≤[N]≤0.55(假设[Ti]+[B]+[N]=1)的原子比率含有(Ti)、硼(B)和氮(N)。此外,提供一种制造导电耐腐蚀材料(3)的方法,其中氮化硼粉末粘附到至少表面由钛或者钛合金制成的基片(2)的表面,然后加热。此外,提供一种制造导电耐腐蚀材料(3)的方法,其中至少表面由钛或者钛合金制成的基片(2)的表面被渗硼然后被加热。另外,提供一种制造导电耐腐蚀材料(3)的方法,其中通过将TiB2粉末喷涂到金属基片(2)的表面上而形成由TiB2颗粒形成的TiB2层,并且然后对该TiB2层渗氮。
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公开(公告)号:CN101448740B
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN200780018780.0
申请日:2007-05-22
Applicant: 株式会社丰田中央研究所
CPC classification number: C23C16/26 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M8/0228 , Y02P70/56 , Y10T428/30 , Y10T428/31504 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的非晶碳膜是包含碳和氢的非晶碳膜,其中该非晶碳膜包含30原子%以下且大于0原子%的氢,并且当将碳的总量作为100原子%时,具有sp2杂化轨道的碳的存在量为70原子%以上且小于100原子%。通过控制氢、Csp3等的含量以增加包含Csp2的结构,从而对非晶碳膜赋予导电性。通过利用包含如下一种或多种气体的反应气体的等离子体CVD方法,可以形成该非晶碳膜,所述一种或多种气体选自包含具有sp2杂化轨道的碳的碳环化合物气体、和包含具有sp2杂化轨道的碳以及硅和/或氮的杂环化合物气体。通过在基材的表面上形成非晶碳膜可得到导电性部件。
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公开(公告)号:CN101448740A
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:CN200780018780.0
申请日:2007-05-22
Applicant: 株式会社丰田中央研究所
CPC classification number: C23C16/26 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M8/0228 , Y02P70/56 , Y10T428/30 , Y10T428/31504 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的非晶碳膜是包含碳和氢的非晶碳膜,其中该非晶碳膜包含30原子%以下且大于0原子%的氢,并且当将碳的总量作为100原子%时,具有sp2杂化轨道的碳的存在量为70原子%以上且小于100原子%。通过控制氢、Csp3等的含量以增加包含Csp2的结构,从而对非晶碳膜赋予导电性。通过利用包含如下一种或多种气体的反应气体的等离子体CVD方法,可以形成该非晶碳膜,所述一种或多种气体选自包含具有sp2杂化轨道的碳的碳环化合物气体、和包含具有sp2杂化轨道的碳以及硅和/或氮的杂环化合物气体。通过在基材的表面上形成非晶碳膜可得到导电性部件。
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