公开(公告)号：CN114269966A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080059115.1

申请日：2020-09-03

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 中谷贵纪 ,  日高敦志 ,  德田伊知郎 ,  中辻景介

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种气化供给装置(1)，具备：预加热部(2)，其对液体原料(L)进行预加热；气化部(3)，其配置于所述预加热部(2)的上部，且对从所述预加热部(2)送出的已被预加热的所述液体原料(L)进行加热并使其气化；流量控制装置(4)，其配置于所述气化部(3)的上部，用于对从所述气化部(3)所送出的气体(G)的流量进行控制；以及加热器(5)，其对所述预加热部(2)、所述气化部(3)以及所述流量控制装置(4)进行加热。

公开(公告)号：CN110914470A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201880046476.5

申请日：2018-07-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  中谷贵纪 ,  中辻景介 ,  平尾圭志 ,  皆见幸男 ,  池田信一

IPC: C23C16/52 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种为了对保持在不同温度的流体加热部适当地进行温度控制的流体控制装置(100)，其具备：在内部设置有流路或流体容纳部且相互连接的多个流体加热部(1)；以将多个流体加热部加热到不同温度的方式构成的加热器(10)；以及配置在邻接的流体加热部之间隔热部件(13、13’)。

公开(公告)号：CN110914959A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201880045775.7

申请日：2018-07-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  中谷贵纪 ,  中辻景介 ,  平尾圭志 ,  皆见幸男 ,  池田信一

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/448 ,  H05B3/00

Abstract: 本发明提供一种为了使用加热器适当地进行原料的供给的流体控制装置(100)，其具备：在内部设置有流路或流体容纳部的流体加热部(1)；以及对流体加热部进行加热的加热器(10)，加热器具有发热体(10a)和金属制的传热部件(10b)，传热部件(10b)与发热体热连接，并以包围流体加热部的方式配置，传热部件的与流体加热部对向的面包含为了提高散热性而被表面处理了的面(S1)。