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公开(公告)号：CN113795907B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202080033276.3
申请日：2020-05-07
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/02 , H01L21/683 , H01L21/673
Abstract: 基板保持架具备：中央支承部，其支承基板的中央部；以及外周支承部，其配置在中央支承部的外侧，支承中央部的外侧的外周部，外周支承部将外周部支承为：外周部的至少一部分区域朝向基板保持架以比中央部大的曲率弯曲。
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公开(公告)号：CN106134182A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580018291.X
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H04N5/369 , H01L27/146 , H01L31/10 , H04N5/357 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
CPC classification number: H01L27/14634 , G01S7/4863 , G01S7/4876 , G01S7/4914 , G01S7/493 , G01S17/89 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L27/14643 , H01L31/10 , H01L2924/0002 , H04N5/3745 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种检测元件，具备：多个光电转换元件，输出与入射光相应的电信号；及多个滤波电路，与多个光电转换元件分别对应地设置，或者与分别包含多个光电转换元件中的规定个数的光电转换元件的多个元件组分别对应地设置，从由多个光电转换元件输出的电信号中，使具有规定频率的信号衰减。在上述检测元件中，多个光电转换元件可以设于第一基板，多个滤波电路可以设于层叠于第一基板的第二基板。
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公开(公告)号：CN113795907A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202080033276.3
申请日：2020-05-07
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/02 , H01L21/683 , H01L21/673
Abstract: 基板保持架具备：中央支承部，其支承基板的中央部；以及外周支承部，其配置在中央支承部的外侧，支承中央部的外侧的外周部，外周支承部将外周部支承为：外周部的至少一部分区域朝向基板保持架以比中央部大的曲率弯曲。
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公开(公告)号：CN106134182B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201580018291.X
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H04N5/369 , H01L27/146 , H01L31/10 , H04N5/357 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
Abstract: 本发明涉及一种检测元件，具备：多个光电转换元件，输出与入射光相应的电信号；及多个滤波电路，与多个光电转换元件分别对应地设置，或者与分别包含多个光电转换元件中的规定个数的光电转换元件的多个元件组分别对应地设置，从由多个光电转换元件输出的电信号中，使具有规定频率的信号衰减。在上述检测元件中，多个光电转换元件可以设于第一基板，多个滤波电路可以设于层叠于第一基板的第二基板。
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