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发明公开
对曝光设备的结构元件的振动控制审中-实审

公开(公告)号：CN119744329A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202380055172.6

申请日：2023-07-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 杨佰学 , 浅海博圭 , 坂田晃一 , 德见宪亮 , 北田茂干 , 克里斯多夫·肖恩·玛格森 , 李焕 , 袁宝山

IPC: F16F15/00 , F16F15/02 , B25J9/12 , B25J9/14

Abstract: 一种对曝光设备的结构元件的振动进行控制的方法包括：接收结构元件的位置数据；至少部分地基于结构元件的位置数据及指定位置来确定位置误差信号；至少部分地基于位置误差信号及结构元件的指定振动模式频率来确定力命令以对所述指定振动模式频率进行阻尼；以及将力命令传送到致动器，使得所述致动器向结构元件施加力且至少在结构元件的指定振动模式频率下对结构元件的振动进行阻尼。

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