公开(公告)号：CN119744329A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202380055172.6

申请日：2023-07-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 杨佰学 ,  浅海博圭 ,  坂田晃一 ,  德见宪亮 ,  北田茂干 ,  克里斯多夫·肖恩·玛格森 ,  李焕 ,  袁宝山

IPC: F16F15/00 ,  F16F15/02 ,  B25J9/12 ,  B25J9/14

Abstract: 一种对曝光设备的结构元件的振动进行控制的方法包括：接收结构元件的位置数据；至少部分地基于结构元件的位置数据及指定位置来确定位置误差信号；至少部分地基于位置误差信号及结构元件的指定振动模式频率来确定力命令以对所述指定振动模式频率进行阻尼；以及将力命令传送到致动器，使得所述致动器向结构元件施加力且至少在结构元件的指定振动模式频率下对结构元件的振动进行阻尼。

公开(公告)号：CN109477501B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201780033547.3

申请日：2017-06-01

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 杨佰学 ,  崔永俊 ,  张秉威 ,  坂田晃一 ,  李树平

IPC: F15B9/08 ,  F15B11/028

Abstract: 一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。