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发明公开
空间光调变单元及曝光装置审中-实审

公开(公告)号：CN117377910A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202280033807.8

申请日：2022-07-01

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 洼田泰仁 , 水野恭志 , 加藤正纪 , 西村昌树 , 水野仁

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明的空间光调变单元(1)是用于一面使感光基板(10)沿着扫描方向(S)移动、一面于感光基板(10)将曝光图案进行曝光的曝光装置。空间光调变单元(1)具备：空间光调变器(11)，具有多个组件；控制器(12)，根据曝光图案控制多个组件；及SLM基板(13)，搭载空间光调变器(11)及控制器(12)。并且，控制器(12)相对于空间光调变器(11)而沿着扫描方向(S)排列配置。

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