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公开(公告)号：CN113485076B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202110788294.9
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 曝光装置中，于基板保持具(34)上在X轴方向上多个格子区域(RG)彼此分离配置，对格子区域分别照射测量光束且能在Y轴方向移动的多个读头(66a～66d)配置于基板保持具外部。控制系统，根据多个读头中对向于格子区域的至少三个读头的测量信息与测量多个读头的位置信息的测量装置的测量信息，控制基板保持具在至少XY面内的3自由度方向的移动。多个读头，分别在基板保持具在X轴方向的移动中测量光束从多个格子区域中的一个格子区域脱离且移至相邻的另一格子区域。
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公开(公告)号：CN106415397B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201580027999.1
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 白户章仁
Abstract: 本发明的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。
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公开(公告)号：CN108139681B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201680057225.8
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 控制系，根据用以补偿因多个格子区域(RG)(标尺(152))、多个读头(66a～66d)、以及基板保持具(34)的移动的至少一个而产生的包含编码器系统的测量系的测量误差的修正信息、以及以测量系测量的位置信息，控制基板保持具的驱动系，多个读头分别在基板保持具于X轴方向的移动中，来自读头的测量光束从多个格子区域(RG)的一个脱离，且移至相邻的另一格子区域(RG)。
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公开(公告)号：CN108139694A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680058222.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70775 , G01D5/347 , G01D5/34746 , G02F1/1303 , G03F7/0007 , G03F7/2002 , G03F7/2022 , G03F7/22 , G03F7/70475 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/7085 , G03F9/00 , H01L21/68
Abstract: 曝光装置中，于基板保持具(34)上在X轴方向上多个格子区域(RG)彼此分离配置，对格子区域分别照射测量光束且能在Y轴方向移动的多个读头(66a～66d)配置于基板保持具外部。控制系，根据多个读头中对向于格子区域的至少三个读头的测量信息与测量多个读头的位置信息的测量装置的测量信息，控制基板保持具在至少XY面内的3自由度方向的移动。多个读头，分别在基板保持具在X轴方向的移动中测量光束从多个格子区域中的一个格子区域脱离且移至相邻的另一格子区域。
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公开(公告)号：CN106415397A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580027999.1
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 白户章仁
CPC classification number: G03F7/70775 , G02F1/1303 , G03F7/0005 , G03F7/20 , G03F7/70716 , G03F7/70725
Abstract: 本发明的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108139683B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201680057941.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 控制系根据使用多个读头(66a～66d)中测量光束照射于第1格子群之标尺(152a～152c)及第2格子群之标尺(152d～152f)之至少两个标尺之至少四个读头(66a～66d)所测量之移动体之位置信息，取得与标尺(152a～152c)及标尺(152d～152f)之至少两个相关之格子修正信息，格子修正信息用在使用测量光束照射于标尺(152a～152c)及标尺(152d～152f)中之至少两个格子之至少三个读头的移动体之移动控制。
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公开(公告)号：CN108139694B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201680058222.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 曝光装置中，于基板保持具(34)上在X轴方向上多个格子区域(RG)彼此分离配置，对格子区域分别照射测量光束且能在Y轴方向移动的多个读头(66a～66d)配置于基板保持具外部。控制系统，根据多个读头中对向于格子区域的至少三个读头的测量信息与测量多个读头的位置信息的测量装置的测量信息，控制基板保持具在至少XY面内的3自由度方向的移动。多个读头，分别在基板保持具在X轴方向的移动中测量光束从多个格子区域中的一个格子区域脱离且移至相邻的另一格子区域。
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公开(公告)号：CN108957966B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201810948284.5
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 白户章仁
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。
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公开(公告)号：CN113485076A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110788294.9
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 曝光装置中，于基板保持具(34)上在X轴方向上多个格子区域(RG)彼此分离配置，对格子区域分别照射测量光束且能在Y轴方向移动的多个读头(66a～66d)配置于基板保持具外部。控制系，根据多个读头中对向于格子区域的至少三个读头的测量信息与测量多个读头的位置信息的测量装置的测量信息，控制基板保持具在至少XY面内的3自由度方向的移动。多个读头，分别在基板保持具在X轴方向的移动中测量光束从多个格子区域中的一个格子区域脱离且移至相邻的另一格子区域。
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公开(公告)号：CN113359395A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110601500.0
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 白户章仁
Abstract: 一种液晶曝光装置，对沿着XY平面移动之基板保持具(34)所保持之基板(P)，在基板保持具(34)往X轴方向之移动中经由光学系统(16)照射照明光，其具有：标尺(52)，根据基板保持具往X轴方向之移动而被测量；读头(66x、66y)，根据基板保持具往X轴方向之移动，一边相对标尺(52)往X轴方向相对移动一边测量标尺(52)；多个标尺(56)，根据基板保持具往Y轴方向之移动而被测量，配置于在X轴方向彼此不同之位置；以及多个读头(64x、64y)，对应标尺(56)之各个设置，且根据基板往Y轴方向之移动，一边相对标尺(56)往Y轴方向相对移动一边测量标尺(56)。
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