公开(公告)号：CN112955999B

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN201980070212.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  角田真生 ,  铃木一弘 ,  塩见隆 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法。基板贴合装置具备：第一保持部，其保持第一基板；以及第二保持部，其保持第二基板，在第一基板的一部分与第二基板的一部分之间形成初始贴合区域，并通过从第二保持部释放形成了初始贴合区域的第二基板，来将第一基板和第二基板贴合，基于与第二基板的形变相关的信息来设定初始贴合区域。

公开(公告)号：CN112955999A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980070212.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  角田真生 ,  铃木一弘 ,  塩见隆 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法。基板贴合装置具备：第一保持部，其保持第一基板；以及第二保持部，其保持第二基板，在第一基板的一部分与第二基板的一部分之间形成初始贴合区域，并通过从第二保持部释放形成了初始贴合区域的第二基板，来将第一基板和第二基板贴合，基于与第二基板的形变相关的信息来设定初始贴合区域。