公开(公告)号：CN112955999B

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN201980070212.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  角田真生 ,  铃木一弘 ,  塩见隆 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法。基板贴合装置具备：第一保持部，其保持第一基板；以及第二保持部，其保持第二基板，在第一基板的一部分与第二基板的一部分之间形成初始贴合区域，并通过从第二保持部释放形成了初始贴合区域的第二基板，来将第一基板和第二基板贴合，基于与第二基板的形变相关的信息来设定初始贴合区域。

公开(公告)号：CN112955999A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980070212.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  角田真生 ,  铃木一弘 ,  塩见隆 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法。基板贴合装置具备：第一保持部，其保持第一基板；以及第二保持部，其保持第二基板，在第一基板的一部分与第二基板的一部分之间形成初始贴合区域，并通过从第二保持部释放形成了初始贴合区域的第二基板，来将第一基板和第二基板贴合，基于与第二基板的形变相关的信息来设定初始贴合区域。

公开(公告)号：CN116830035A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202280014132.2

申请日：2022-04-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 泷优介 ,  矢岛海都 ,  牛田正男 ,  冨冈贞祐 ,  原笃史 ,  铃木一弘 ,  樋口潔

IPC: G03F1/44

Abstract: 本发明涉及相移掩模(100、200)，其具有基材(10)、第1半透过层(20)和第2半透过层(20)、以及遮光层(30)，在上述基材的表面形成有测量标记，该测量标记具有下述区域沿着与上述表面平行的排列方向相邻地设置的图案：配置有第1半透过层的第1区域(A1)；上述基材表面露出的第2区域(B1)；配置有上述遮光层的第3区域(C)；配置有第2半透过层的第4区域(A2)；以及上述基材表面露出的第5区域(B2)。