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公开(公告)号：CN102341725A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201080010167.6
申请日：2010-02-25
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01S17/36
Abstract: 即使在振荡器的频率中产生摆动，也根据逐次差拍的处理信号间的相位差来测定距离。距离测定装置具备：激光器装置（1），作为激光光束产生光频梳；基准光接收部（3），对基准光（27）进行光接收；以及测定光接收部（6），对测距光（28）进行光接收。第1混频器（31）和第2混频器（32）将测定光接收部（6）和基准光接收部（3）的光接收信号与具有特定的频率的振荡器（50）的周期信号相乘。第4滤波器（51）和第5滤波器（52）提取从在第1混频器（31）和第2混频器（32）生成的信号成分中提取不同的频率成分。以第4滤波器（51）和第5滤波器（52）提取的信号在第3混频器中相乘，以第6滤波器（54）提取差的频率成分。相位差测定部（12）测定来自第6滤波器（54）和第2滤波器（11）的2个处理信号的相位差，距离测定部（17）根据该相位差测定距离。
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公开(公告)号：CN103940413A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410021633.0
申请日：2014-01-17
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01C15/00 , G01C15/002 , H02K7/108 , H02N2/163
Abstract: 本发明为测量仪器的旋转驱动部（5），测量仪器具有用于使测距光轴朝向测定对象物的旋转部（7），旋转驱动部（5）使该旋转部旋转，该旋转驱动部具有使输出轴（6）旋转的旋转马达、和将该旋转马达与所述输出轴的连结接合、断开的离合器部，所述旋转马达、所述离合器部是沿着所述输出轴串联配设的结构，所述输出轴固定于所述旋转部上。
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公开(公告)号：CN101189532A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019988.X
申请日：2006-05-10
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01S7/497 , G01C3/08 , G01C15/002 , G01S17/36 , G01S17/42
Abstract: 本发明的距离测定装置设有：将测距光(22)照射到测定对象物的光发射部；处于已知位置的基准反射部(55)，设置成可相对移动以横截所照射的测距光；光检测部(7)，将来自上述测定对象物的反射光作为反射测距光(22′)检测，并将来自上述基准反射部的反射光作为内部参考光(22″)检测；以及控制运算部(15)，根据涉及上述反射测距光的光检测信号和涉及上述内部参考光的光检测信号来计算到测定对象物的距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1447411A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03128610.0
申请日：2003-03-27
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种表面检查方法，它包括：在具备受光部和受光偏振角变更部件的表面检查装置中，利用上述受光偏振角变更部件改变受光偏振角，接受来自涂有标准粒子的基片表面的散射反射光的步骤，和在受光输出的S/N比变为最大的状态下设定受光偏振角，进行表面检查的步骤。
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公开(公告)号：CN103940413B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201410021633.0
申请日：2014-01-17
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01C15/00 , G01C15/002 , H02K7/108 , H02N2/163
Abstract: 本发明为测量仪器的旋转驱动部（5），测量仪器具有用于使测距光轴朝向测定对象物的旋转部（7），旋转驱动部（5）使该旋转部旋转，该旋转驱动部具有使输出轴（6）旋转的旋转马达、和将该旋转马达与所述输出轴的连结接合、断开的离合器部，所述旋转马达、所述离合器部是沿着所述输出轴串联配设的结构，所述输出轴固定于所述旋转部上。
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公开(公告)号：CN102341725B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201080010167.6
申请日：2010-02-25
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01S17/36
Abstract: 即使在振荡器的频率中产生摆动，也根据逐次差拍的处理信号间的相位差来测定距离。距离测定装置具备：激光器装置（1），作为激光光束产生光频梳；基准光接收部（3），对基准光（27）进行光接收；以及测定光接收部（6），对测距光（28）进行光接收。第1混频器（31）和第2混频器（32）将测定光接收部（6）和基准光接收部（3）的光接收信号与具有特定的频率的振荡器（50）的周期信号相乘。第4滤波器（51）和第5滤波器（52）提取从在第1混频器（31）和第2混频器（32）生成的信号成分中提取不同的频率成分。以第4滤波器（51）和第5滤波器（52）提取的信号在第3混频器中相乘，以第6滤波器（54）提取差的频率成分。相位差测定部（12）测定来自第6滤波器（54）和第2滤波器（11）的2个处理信号的相位差，距离测定部（17）根据该相位差测定距离。
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公开(公告)号：CN101189532B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200680019988.X
申请日：2006-05-10
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01S7/497 , G01C3/08 , G01C15/002 , G01S17/36 , G01S17/42
Abstract: 本发明的距离测定装置设有：将测距光(22)照射到测定对象物的光发射部；处于已知位置的基准反射部(55)，设置成可相对移动以横截所照射的测距光；光检测部(7)，将来自上述测定对象物的反射光作为反射测距光(22′)检测，并将来自上述基准反射部的反射光作为内部参考光(22″)检测；以及控制运算部(15)，根据涉及上述反射测距光的光检测信号和涉及上述内部参考光的光检测信号来计算到测定对象物的距离。
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公开(公告)号：CN1298036C
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN03128610.0
申请日：2003-03-27
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种表面检查方法，其是在具有受光部和受光偏振角变更部件的表面检查装置中进行表面检查的，该方法包括：利用受光偏振角变更部件改变受光偏振角和接受来自涂有标准粒子的基片表面的散射反射光的步骤；通过对以直方图得到的极小值、极大值进行明确分离、以得到异物散射受光输出和基片表面散射受光输出的比、即S/N比变为最大的步骤；在上述S/N中以极小值、极大值的比为0.7以上时判断该S/N比为最大的步骤；以及在受光输出的S/N比变为最大的状态下设定受光偏振角进行表面检查的步骤。本发明还提供一种表面检查装置。
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