公开(公告)号：CN1265110A

公开(公告)日：2000-08-30

申请号：CN98807442.7

申请日：1998-03-27

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 三轮崇夫 ,  渡边明 ,  伊藤攻 ,  铃木雅雄

IPC: C07F7/08 ,  H01L21/208 ,  H01L21/316 ,  G02B6/12

CPC classification number: H01L21/02164 ,  H01L21/02123 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02601 ,  H01L21/02628 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/316 ,  H01L51/0094

Abstract: 本发明公开了一种有机硅纳米簇组合物及其制造方法,还具体公开了利用该有机硅纳米簇形成的硅薄膜和氧化硅薄膜,以及包括这些膜的电子器件。该有机硅纳米簇能溶于有机溶剂中,用Tauc绘图法测量的其在有机溶剂中的溶液的带隙在3eV－1.2eV之间。