半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101465355A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810184907.2

    申请日:2008-12-19

    CPC classification number: H01L51/055 H01L51/0023 H01L51/0545 H01L51/102

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件及其制造方法,在衬底SUB1上形成包含用狭窄的间隙(GP1)隔离开来的栅电极(GE2)和辅助图案(AP2)的导体图案(CP3),然后以将其覆盖的方式而形成栅极绝缘膜用的绝缘膜(GIF2),并在其之上形成抗蚀膜(RP4),从衬底SUB1的背面侧对抗蚀膜(RP4)进行曝光。在曝光时,使导体图案(CP3)作为掩模发挥功能,但使抗蚀膜(RP4)成为无法分辨间隙(GP1)的尺寸那样的低分辨率,并使显影后的抗蚀图案(RP4a)不产生与间隙(GP1)相当的部分。通过使用了此抗蚀图案RP4a的提离法而形成与栅电极(GE2)匹配的源·漏电极。通过对辅助图案(AP2)的形状进行调整就能够将源·漏电极的形状调整成任意形状。利用本发明,能够使薄膜晶体管的性能得到改善。

    培养容器及细胞培养装置

    公开(公告)号:CN111886328A

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201980021629.5

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 提供一种能够抑制使用共同的喷嘴将液体培养基及气体一起供给的情况下的培养基的起泡的培养容器。培养容器(100)具备:容器主体(2),具有与收容空间(1)连通的开口部(24A);盖(8),将开口部(24A)封堵;以及液体培养基(98)及气体的一起供给用的喷嘴(4),将盖(8)贯通且延伸到收容空间(1)。喷嘴(4)具有通气开口部(43),所述通气开口部(43)以在该喷嘴(4)的侧壁(45)开口的方式形成,成为气体从该喷嘴(4)的内部向收容空间(1)的移动路径。

    送液装置、使用该送液装置的细胞培养装置及方法

    公开(公告)号:CN109563458A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201780046793.2

    申请日:2017-02-24

    Abstract: 本发明提供将液体培养基和细胞悬浊液分别以合适的送液方法输送至目的容器的送液装置。在保持有液体培养基的第一液体瓶(12)与保持细胞悬浊液的第二液体瓶(2)之间连接泵(6),在第二液体瓶(12)的下游连接用作培养容器的接受容器(8)。通过打开第一供给阀(17),第一液体瓶的液体培养基经由泵(6)、分支点(20)输送至接受容器,通过打开第一气体导入阀(10)、第二气体导入阀(15)以及第二供给阀(19),利用从第一气体导入阀(10)供给的气体经由泵(6)、分支点(16)而对第二液体瓶传输压力,由此,向接受容器输送第二液体瓶的细胞悬浊液。

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