感光性SAM膜的曝光方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN101295139B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200810005560.0

    申请日:2008-02-15

    Abstract: 本发明涉及一种感光性SAM膜的曝光方法及半导体装置的制造方法。由于使用印刷法产生位置偏移,所以难以形成间隔绝缘膜使下部电极和上部电极良好对位的电极衬底。使用光掩模进行对位,大幅度降低成本。本发明公开的技术是感光性SAM膜的曝光方法,该方法在衬底上成膜具有感光性、感光前具有疏液性、感光后具有亲液性的自组织化单分子膜(感光性SAM膜),在使该衬底的所述成膜面浸渍在液体中的状态下或使感光面朝下与液体接触的状态下,对所述衬底进行曝光,其特征在于,曝光光是紫外光、可见光或波长为350nm以上800nm以下的曝光光,所述液体是含有芳香环的有机溶剂、醇类、醚类或酮类有机溶剂中的至少一种。

    感光性SAM膜的曝光方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN101295139A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200810005560.0

    申请日:2008-02-15

    Abstract: 本发明涉及一种感光性SAM膜的曝光方法及半导体装置的制造方法。由于使用印刷法产生位置偏移,所以难以形成间隔绝缘膜使下部电极和上部电极良好对位的电极衬底。使用光掩模进行对位,大幅度降低成本。本发明公开的技术是感光性SAM膜的曝光方法,该方法在衬底上成膜具有感光性、感光前具有疏液性、感光后具有亲液性的自组织化单分子膜(感光性SAM膜),在使该衬底的所述成膜面浸渍在液体中的状态下或使感光面朝下与液体接触的状态下,对所述衬底进行曝光,其特征在于,曝光光是紫外光、可见光或波长为350nm以上800nm以下的曝光光,所述液体是含有芳香环的有机溶剂、醇类、醚类或酮类有机溶剂中的至少一种。

    超导导线、超导线圈以及磁共振成像装置

    公开(公告)号:CN106463230B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201580026543.3

    申请日:2015-06-17

    Abstract: 课题为提供一种超导线圈以及磁共振成像装置,即使在强磁场中,也减少由于构件间的剥离而产生的焦耳热,避免失超。本发明的超导线圈具有卷架和卷绕于所述卷架的超导导线,在所述卷架和所述超导导线之间具有:第1树脂层,包含热塑性树脂;第2树脂层,包含热固性树脂;以及混合层,位于所述第1树脂层和所述第2树脂层之间,包含所述热塑性树脂和所述热固性树脂的混合物。

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