公开(公告)号：CN105659353A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480058375.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 久保贵 ,  小林弘幸

IPC: H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/10 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。

公开(公告)号：CN105659353B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201480058375.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 久保贵 ,  小林弘幸

IPC: H01J37/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/10 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/103 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2602

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。