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公开(公告)号：CN104425200A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410369393.3
申请日：2014-07-30
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
Inventor： 狩谷宏行
IPC: H01J37/317 , G01R33/02
CPC classification number: H01J37/243 , G01R33/07 , G01R33/072 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/3171 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/24514 , H01J2237/248 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明提供一种与磁场测定有关且有助于提高生产性的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(100)具备配设于离子源与处理室之间的能量分析电磁铁(24)。能量分析电磁铁(24)具备：霍尔元件(110)，根据偏转磁场生成测定输出；及NMR元件(112)，生成NMR输出。离子注入装置(100)的控制部(102)具备：磁场测定部(114)，根据偏转磁场与测定输出之间已知的对应关系测定偏转磁场；磁场决定部(118)，根据NMR输出决定偏转磁场；及霍尔元件校正部(120)，利用根据NMR输出决定的偏转磁场和与该偏转磁场对应的霍尔元件(110)的新的测定输出来更新已知的对应关系。
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公开(公告)号：CN105659353B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480058375.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/10 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/103 , H01J2237/221 , H01J2237/248 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
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公开(公告)号：CN103681186B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201310405430.7
申请日：2013-09-09
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
Abstract: 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
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公开(公告)号：CN104425200B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201410369393.3
申请日：2014-07-30
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
Inventor： 狩谷宏行
IPC: H01J37/317 , G01R33/02
CPC classification number: H01J37/243 , G01R33/07 , G01R33/072 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/3171 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/24514 , H01J2237/248 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明提供一种与磁场测定有关且有助于提高生产性的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(100)具备配设于离子源与处理室之间的能量分析电磁铁(24)。能量分析电磁铁(24)具备：霍尔元件(110)，根据偏转磁场生成测定输出；及NMR元件(112)，生成NMR输出。离子注入装置(100)的控制部(102)具备：磁场测定部(114)，根据偏转磁场与测定输出之间已知的对应关系测定偏转磁场；磁场决定部(118)，根据NMR输出决定偏转磁场；及霍尔元件校正部(120)，利用根据NMR输出决定的偏转磁场和与该偏转磁场对应的霍尔元件(110)的新的测定输出来更新已知的对应关系。
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公开(公告)号：CN105659353A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480058375.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/10 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/103 , H01J2237/221 , H01J2237/248 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104838466A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380061917.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/24 , G06F3/048 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/265 , G06F3/048 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/304 , H01J2237/202 , H01J2237/248 , H01J2237/2801
Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。
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公开(公告)号：CN105593966B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201480053931.6
申请日：2014-10-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/292 , H01J37/073 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/24495 , H01J2237/248 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。
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公开(公告)号：CN104838466B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380061917.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/24 , G06F3/048 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/265 , G06F3/048 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/304 , H01J2237/202 , H01J2237/248 , H01J2237/2801
Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的
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公开(公告)号：CN105593966A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480053931.6
申请日：2014-10-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/292 , H01J37/073 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/24495 , H01J2237/248 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。
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公开(公告)号：CN103681186A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310405430.7
申请日：2013-09-09
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
Abstract: 一种用于扫描电子显微镜的复合物镜，所述透镜包括由第一透镜线圈激励的传统的磁透镜、由第二透镜线圈激励的浸没磁透镜以及由样品和静电透镜电极之间的电压差激励的浸没静电透镜和静电透镜电极。对于静电浸没透镜的预定激励，利用第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励的若干组合，电子射束可在样品上聚焦。电子检测器定位成靠近样品处以检测反向散射电子（BSE）。发明人发现当例如通过将检测器形成为像素显示的检测器或显示环（205，206，207）的检测器，检测器能够区分靠近轴冲击检测器的BSE（202）和更远离轴冲击检测器的BSE（204）时，可获得更多BSE的信息。发明人还发现，通过调谐第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比率，到BSE冲击检测器的轴的距离可改变，因此复合透镜可被制成用作能量可选择的检测器。
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