-
公开(公告)号：CN104067368B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280067960.9
申请日：2012-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20214 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。
-
公开(公告)号：CN105103263B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
-
公开(公告)号：CN104380426A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380033422.2
申请日：2013-06-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/20207
Abstract: 在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。
-
公开(公告)号：CN109155226A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201680085834.4
申请日：2016-05-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的课题在于提供一种试样保持装置及具备该试样保持装置的带电粒子线装置，能观察在不同的气体空间中产生的试样表面以及内部的现象。为了解决该课题，以具备能向试样(5)的第一部位喷射第一气体的第一气体喷射喷嘴(6)、能向试样(5)的与第一部位不同的第二部位喷射第二气体的第二气体喷射喷嘴(6)、设置于第一气体喷射喷嘴(6)与第二气体喷射喷嘴(6)之间的隔壁部(7)的方式构成使用带电粒子线观察试样的带电粒子线装置用的试样保持装置(1)。
-
公开(公告)号：CN105493225A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103155089B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201180048085.5
申请日：2011-10-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/185 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/208
Abstract: 本发明提供在FIB与SEM之间以遮蔽环境的状态转移试样容易的带电粒子线用试样装置。在通过闸门与FIB（1）或SEM的试样室（4）连通的试样更换器（5）中设置用于装卸与外部空气遮蔽的环境遮蔽试样支架（7）的盖（9）的环境遮蔽单元（10），只通过推试样更换棒（11）卸下盖（9），只将试样支架（7）固定在试样室（4）内。环境遮蔽试样支架（7）在与空气遮蔽的环境中、例如在真空中搭载了试样后，通过盖上盖（9）而遮蔽试样与外部空气，在该状态下只通过推试样更换棒（11）能够在FIB（1）或SEM内进行试样的加工及观察，并且通过在拉出试样更换棒（11）时利用环境遮蔽单元（10）盖上盖（9），保持试样与外部空气的遮蔽状态。
-
公开(公告)号：CN105103263A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
-
公开(公告)号：CN104380426B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380033422.2
申请日：2013-06-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/20207
Abstract: 在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外
-
公开(公告)号：CN106104250A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580014843.X
申请日：2015-04-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 关于实施冷冻处理等的冷却试样，防止结露与霜状物质的产生，搭载于用于保存、以及在带电粒子线装置中观察的试样支架。在本发明中，具备保存试样的主体部、载置于上述主体部上的盖部，上述主体部通过分隔部件分为第一空间、第二空间，在上述第一空间中收纳冷却上述试样的冷却介质，在上述第二空间中配置加热被收纳于该第一空间中的冷却介质的加热部，上述盖部形成将由该冷却介质的加热而产生的气体向外部排出的排出口。
-
公开(公告)号：CN105612597A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201480052535.1
申请日：2014-09-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/32862 , H01J2237/184 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003
Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22
records
(took 0.034 seconds)
