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公开(公告)号：CN102407665B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201110214831.5
申请日：2011-07-29
Applicant: 株式会社理光
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明公开了一种薄膜形成设备、薄膜形成方法、压电元件形成方法、液滴排放头和喷墨记录设备，所述薄膜形成设备用于利用喷墨方法在衬底上形成薄膜，该薄膜形成设备包括：墨水施加单元，该墨水施加单元将用于薄膜形成的墨滴施加到衬底表面上的预定区域；至少一个激光源，用于加热墨滴由此形成薄膜；以及激光照射单元，该激光照射单元用来自激光源的激光照射位于衬底预定区域的后侧上的第一点，其中在所述预定区域上已经施加了墨滴。
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公开(公告)号：CN102439744A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080022531.0
申请日：2010-05-27
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种制造机电转换器的方法，其包括部分修饰第一电极的表面的第一步骤；将包括金属复合氧化物的溶胶凝胶液体涂敷到第一电极的部分修饰后的表面的预定区域的第二步骤；将涂敷后的溶胶凝胶液体进行干燥、热分解和结晶以形成机电转换膜的第三步骤；重复第一、第二和第三步骤以获得具有所需厚度的机电转换膜的第四步骤；以及在机电转换膜上形成第二电极的第五步骤。
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公开(公告)号：CN102343326B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201110217303.5
申请日：2011-08-01
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01L41/317 , C23C18/1216 , C23C18/14 , G01N21/8422 , G01N2021/8427
Abstract: 本发明的实施例提供一种薄膜制造方法和薄膜元件。该薄膜制造方法包括：将衬底放置到原材料溶液中，通过该原材料溶液在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过将光从光源施加到第一主平面侧，在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过应用来自该光源的光，测量从该衬底的第一主平面到该原材料溶液的液面的距离；以及基于测量时获得的测量结果，调整高度方向上该衬底的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103210515A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201180054692.2
申请日：2011-09-05
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01L41/0973 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/1425 , B41J2002/14491 , H01L27/20 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/29
Abstract: 一种机电转换器件的制造方法，包括：在基板上形成振动板；在振动板上形成由金属制成的第一电极；在第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；涂布表面改性材料，并仅对第一电极实施表面改性；在第二电极上形成机电转换膜；以及在机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。
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公开(公告)号：CN102407665A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110214831.5
申请日：2011-07-29
Applicant: 株式会社理光
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明公开了一种薄膜形成设备、薄膜形成方法、压电元件形成方法、液滴排放头和喷墨记录设备，所述薄膜形成设备用于利用喷墨方法在衬底上形成薄膜，该薄膜形成设备包括：墨水施加单元，该墨水施加单元将用于薄膜形成的墨滴施加到衬底表面上的预定区域；至少一个激光源，用于加热墨滴由此形成薄膜；以及激光照射单元，该激光照射单元用来自激光源的激光照射位于衬底预定区域的后侧上的第一点，其中在所述预定区域上已经施加了墨滴。
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公开(公告)号：CN103210515B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201180054692.2
申请日：2011-09-05
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01L41/0973 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/1425 , B41J2002/14491 , H01L27/20 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/29
Abstract: 一种机电转换器件的制造方法，包括：在基板上形成振动板；在振动板上形成由金属制成的第一电极；在第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；涂布表面改性材料，并仅对第一电极实施表面改性；在第二电极上形成机电转换膜；以及在机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。
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公开(公告)号：CN102439744B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201080022531.0
申请日：2010-05-27
Applicant: 株式会社理光
IPC: H01L41/09 , H01L41/318
CPC classification number: H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种制造机电转换器的方法，其包括部分修饰第一电极的表面的第一步骤；将包括金属复合氧化物的溶胶凝胶液体涂敷到第一电极的部分修饰后的表面的预定区域的第二步骤；将涂敷后的溶胶凝胶液体进行干燥、热分解和结晶以形成机电转换膜的第三步骤；重复第一、第二和第三步骤以获得具有所需厚度的机电转换膜的第四步骤；以及在机电转换膜上形成第二电极的第五步骤。
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公开(公告)号：CN102343326A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110217303.5
申请日：2011-08-01
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01L41/317 , C23C18/1216 , C23C18/14 , G01N21/8422 , G01N2021/8427
Abstract: 本发明的实施例提供一种薄膜制造方法和薄膜元件。该薄膜制造方法包括：将衬底放置到原材料溶液中，通过该原材料溶液在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过将光从光源施加到第一主平面侧，在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过应用来自该光源的光，测量从该衬底的第一主平面到该原材料溶液的液面的距离；以及基于测量时获得的测量结果，调整高度方向上该衬底的位置。
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