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公开(公告)号：CN100340405C
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN03822109.8
申请日：2003-08-05
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: B41J2/1628 , B06B1/0292 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14411
Abstract: 一种静电激励器，具有高可靠性并且特性几乎不变。在衬底(1)上形成有电极(12a)，在电极上形成有多个分隔部件(50a)。在分隔部件(50a)上形成有振动片(19)并且振动片通过施加到电极(12a)的电压所产生的静电力可变形，使得通过蚀刻在电极(12a)和振动片(19)之间形成的牺牲层(14)的一部分，在分隔部件(50a)之间形成空气间隙(14a)。分隔部件(50a)由蚀刻之后牺牲层(14)的剩余部分形成。
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公开(公告)号：CN1681658A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN03822109.8
申请日：2003-08-05
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: B41J2/1628 , B06B1/0292 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14411
Abstract: 一种静电激励器，具有高可靠性并且特性几乎不变。在衬底(1)上形成有电极(12a)，在电极上形成有多个分隔部件(50a)。在分隔部件(50a)上形成有振动片(19)并且振动片通过施加到电极(12a)的电压所产生的静电力可变形，使得通过蚀刻在电极(12a)和振动片(19)之间形成的牺牲层(14)的一部分，在分隔部件(50a)之间形成空气间隙(14a)。分隔部件(50a)由蚀刻之后牺牲层(14)的剩余部分形成。
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公开(公告)号：CN1805853B
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200580000521.6
申请日：2005-03-11
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , G02B26/0841
Abstract: 一种促动器包括通过静电力移动的振动板区域，和经过振动板区域中的第一空间彼此面对的电极。该第一空间通过使用牺牲层去除孔的牺牲层法形成。用作流体阻力的屏障形成在第一空间和位于牺牲层去除孔附近的第二空间之间。
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公开(公告)号：CN1805853A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200580000521.6
申请日：2005-03-11
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , G02B26/0841
Abstract: 一种促动器包括通过静电力移动的振动板区域，和经过振动板区域中的第一空间彼此面对的电极。该第一空间通过使用牺牲层去除孔的牺牲层法形成。用作流体阻力的屏障形成在第一空间和位于牺牲层去除孔附近的第二空间之间。
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