活塞式压缩机
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104912769B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201510102696.3

    申请日:2015-03-09

    Abstract: 本发明提供一种能够减少残留气体从供残留气体流通的旁通通路泄漏的活塞式压缩机。活塞式压缩机在旋转轴的一端侧部(11)形成有旋转阀(40)。旋转阀(40)具有:吸入口(41),其经由导通路(341~344)依次将多个缸孔与供给通路连通,从而将制冷剂气体吸入缸孔;以及旁通通路(43),其构成为在缸孔的内压比位于其旁边的后行的缸孔的内压高的状态下,将上述缸孔的第一导通路(341)与后行的缸孔的第二导通路(342)连通。旁通通路(43)是沿旋转轴(10)的周向形成为直线状的槽,并位于垂直于旋转轴(10)的轴线的方向上。

    斜板式压缩机
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103362774B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310109179.X

    申请日:2013-03-29

    Abstract: 一种斜板式压缩机包括具有曲柄室的缸体、旋转轴、斜板、活塞以及紧固件,紧固件在任两个相邻的活塞之间延伸穿过曲柄室。缸体还包括凸棱部、活塞侧壁表面和紧固件侧壁表面,其中,凸棱部从曲柄室的内表面向内突出、在所述旋转轴的轴向方向上延伸、并且布置成使得活塞和紧固件交替地定位在任两个相邻的凸棱部之间,活塞侧壁表面形成内表面且定位在位于活塞的相对侧上的任两个相邻的凸棱部之间,紧固件侧壁表面形成内表面且定位在位于紧固件的相对侧上的任两个相邻的凸棱部之间。在旋转轴的径向方向上,与紧固件侧壁表面相比,活塞侧壁表面更远离旋转轴间隔开。

    活塞式压缩机
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104912769A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510102696.3

    申请日:2015-03-09

    Abstract: 本发明提供一种能够减少残留气体从供残留气体流通的旁通通路泄漏的活塞式压缩机。活塞式压缩机在旋转轴的一端侧部(11)形成有旋转阀(40)。旋转阀(40)具有:吸入口(41),其经由导通路(341~344)依次将多个缸孔与供给通路连通,从而将制冷剂气体吸入缸孔;以及旁通通路(43),其构成为在缸孔的内压比位于其旁边的后行的缸孔的内压高的状态下,将上述缸孔的第一导通路(341)与后行的缸孔的第二导通路(342)连通。旁通通路(43)是沿旋转轴(10)的周向形成为直线状的槽,并位于垂直于旋转轴(10)的轴线的方向上。

    斜板式压缩机
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103362774A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201310109179.X

    申请日:2013-03-29

    Abstract: 一种斜板式压缩机包括具有曲柄室的缸体、旋转轴、斜板、活塞以及紧固件,紧固件在任两个相邻的活塞之间延伸穿过曲柄室。缸体还包括凸棱部、活塞侧壁表面和紧固件侧壁表面,其中,凸棱部从曲柄室的内表面向内突出、在所述旋转轴的轴向方向上延伸、并且布置成使得活塞和紧固件交替地定位在任两个相邻的凸棱部之间,活塞侧壁表面形成内表面且定位在位于活塞的相对侧上的任两个相邻的凸棱部之间,紧固件侧壁表面形成内表面且定位在位于紧固件的相对侧上的任两个相邻的凸棱部之间。在旋转轴的径向方向上,与紧固件侧壁表面相比,活塞侧壁表面更远离旋转轴间隔开。

    氢气的排气方法以及真空泵装置

    公开(公告)号:CN102169813A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201110035448.3

    申请日:2011-01-31

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明提供一种能够提高氢气的排气效率的氢气的排气方法以及真空泵装置。真空泵装置S的构成为:主泵(10)、第二辅助泵(27)以及第一辅助泵(55)串联连接,并且在排气通路中的氢气的排气方向上,第一辅助泵(55)以及第二辅助泵(27)配置在主泵(10)的上游侧。在真空泵装置(S)的驱动过程中,来自半导体制造装置的氢气最先被吸入的第一辅助泵(55)的排气口(56b)处,经由导入口(56c)以及导入管(70)供给粘性率高于氢气的氮气,利用该氮气的粘性来提高氢气的输送性。

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