公开(公告)号：CN114952596A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210150730.4

申请日：2022-02-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 铃木佑多 ,  高桥太郎 ,  渡边和英 ,  三木勉

IPC: B24B37/013 ,  B24B49/00 ,  B24B37/10 ,  B24B7/22 ,  B24B27/00 ,  B24B37/34 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种使用声音传感器来高精度地检测基板研磨的终点的基板处理装置。通过将基板按压于研磨垫来进行基板的研磨的基板处理装置具备：研磨声传感器，该研磨声传感器检测伴随基板的研磨的声音现象，并将该声音现象作为声音信号输出；功率谱生成部，该功率谱生成部根据声音信号生成表示声压级的频谱的功率谱；图更新部，该图更新部通过按时间序列排列功率谱而生成表示所述功率谱的时间变化的功率谱图；以及终点判定部，该终点判定部基于功率谱图中的声压级的变化来检测基板的研磨终点。