公开(公告)号：CN101262982A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200680033457.6

申请日：2006-09-12

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小林卓二 ,  相泽英夫 ,  梅本正雄 ,  曾根忠一 ,  鸟居弘臣 ,  高桥信行 ,  都筑隆

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/16

Abstract: 本发明提供一种抛光台板，其无需很大的力来从抛光台板的上表面移除抛光垫并且因此能相对地易于从其上移除抛光垫。本发明还提供一种具有这种抛光台板的抛光装置。根据本发明的抛光台板(12)包括抛光垫附着在其上面的表面。抛光台板(12)的所述表面包括第一表面(20)以及表面粗糙度与第一表面(20)不同的第二表面(21)的组合。

公开(公告)号：CN100565832C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200680013105.4

申请日：2006-04-20

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 高桥信行 ,  曾根忠一 ,  小林卓二 ,  鸟居弘臣

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304 ,  B24B37/04

CPC classification number: H01L21/67259 ,  B24B37/345 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/67751 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137

Abstract: 一种晶片传送装置，具有将晶片(W)保持在下端面上的顶环(60)和与顶环(60)之间进行晶片(W)传送的推动机构(10)。推动机构(10)采用如下结构：具备装载晶片(W)的晶片装载部(40a)，使从顶环(60)的下端面脱离的晶片(W)落座到晶片装载部(40a)上。推动机构(10)具备检测晶片(W)适当地落座到晶片装载部(40a)上的传感机构(50)。传感机构(50)使从投光装置(51)投射的检测光被落座到晶片装载部(40a)上的晶片(W)遮挡。

公开(公告)号：CN101164155A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200680013105.4

申请日：2006-04-20

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 高桥信行 ,  曾根忠一 ,  小林卓二 ,  鸟居弘臣

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304 ,  B24B37/04

CPC classification number: H01L21/67259 ,  B24B37/345 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/67751 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/137

Abstract: 一种晶片传送装置，具有将晶片(W)保持在下端面上的顶环(60)和与顶环(60)之间进行晶片(W)传送的推动机构(10)。推动机构(10)采用如下结构：具备装载晶片(W)的晶片装载部(40a)，使从顶环(60)的下端面脱离的晶片(W)落座到晶片装载部(40a)上。推动机构(10)具备检测晶片(W)适当地落座到晶片装载部(40a)上的传感机构(50)。传感机构(50)使从投光装置(51)投射的检测光被落座到晶片装载部(40a)上的晶片(W)遮挡。