公开(公告)号：CN111829389B

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202010222040.6

申请日：2020-03-26

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 本岛靖之 ,  丸山徹 ,  神木启佑 ,  鱼住修司

IPC: F28G13/00 ,  F28G15/00 ,  B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B57/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种能够有效地除去附着于热交换器的底面的污垢的清洗装置和研磨装置。本发明的清洗装置对调整研磨垫(3)的表面温度的热交换器(11)进行清洗。该清洗装置具备：使热交换器(11)在该热交换器(11)能够与研磨垫(3)进行热交换的温度调整位置与使该热交换器(11)从研磨垫(3)的表面分离的退避位置之间移动的移动机构(16)、以及清洗移动到退避位置的热交换器(11)的底面的清洗机构(10)。退避位置位于研磨垫(3)的侧方，清洗机构(10)包括向移动到退避位置的热交换器(11)的底面喷射清洗液的至少一个清洗液喷嘴(28A)或能够浸渍热交换器(11)的底面的清洗槽(60)。

公开(公告)号：CN115302398A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210427039.6

申请日：2022-04-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 伊东伴 ,  本岛靖之 ,  尹昇镐 ,  鱼住修司 ,  三浦骏平 ,  松尾尚典 ,  铃木宪一

IPC: B24B37/015 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B57/02 ,  B24B1/00

Abstract: 本发明提供一种研磨装置及研磨方法，可不使基板产生划痕等缺陷及污染而以所需的研磨性能研磨基板。研磨装置包括：研磨台，用于支撑研磨垫；研磨头，将基板按压于研磨垫的研磨面而研磨基板；垫温度测定器，测定研磨面的温度；垫温度调整装置，调整研磨面的温度；以及控制装置，基于由垫温度测定器所测定的研磨面的温度来控制垫温度调整装置的动作。垫温度调整装置包含：垫加热机，从研磨面朝上方远离地配置，所述垫加热机具有：长条部，沿研磨垫的大致半径方向延伸；以及狭缝形状的喷射口，沿着所述长条部的长边方向形成，用于向研磨面喷射加热流体。

公开(公告)号：CN113618622A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202110494699.1

申请日：2021-05-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 鱼住修司 ,  丸山徹

IPC: B24B37/015 ,  B24B37/005 ,  B24B55/02 ,  B24B37/20 ,  H01L21/67

Abstract: 提供一种垫温度调节装置，能够提高研磨垫的表面温度的控制响应性，并且能够不在基板产生划痕等缺陷和污染地调节该研磨垫的表面温度。垫温度调节装置(5)具备：热交换器(11)，该热交换器配置于研磨垫(3)的上方，并且被维持在规定的温度；垫温度测定器(39)，该垫温度测定器对研磨垫(3)的表面温度进行测定；距离传感器(14)，该距离传感器对研磨垫(3)与热交换器(11)之间的间隔距离进行测定；上下移动机构(71)，该上下移动机构使热交换器(11)相对于研磨垫(3)进行上下移动；以及控制装置(40)，该控制装置基于垫温度测定器(39)的测定值来控制上下移动机构(71)的动作。

公开(公告)号：CN111829389A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202010222040.6

申请日：2020-03-26

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 本岛靖之 ,  丸山徹 ,  神木启佑 ,  鱼住修司

IPC: F28G13/00 ,  F28G15/00 ,  B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B57/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种能够有效地除去附着于热交换器的底面的污垢的清洗装置和研磨装置。本发明的清洗装置对调整研磨垫(3)的表面温度的热交换器(11)进行清洗。该清洗装置具备：使热交换器(11)在该热交换器(11)能够与研磨垫(3)进行热交换的温度调整位置与使该热交换器(11)从研磨垫(3)的表面分离的退避位置之间移动的移动机构(16)、以及清洗移动到退避位置的热交换器(11)的底面的清洗机构(10)。退避位置位于研磨垫(3)的侧方，清洗机构(10)包括向移动到退避位置的热交换器(11)的底面喷射清洗液的至少一个清洗液喷嘴(28A)或能够浸渍热交换器(11)的底面的清洗槽(60)。

公开(公告)号：CN111524829A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN202010079458.6

申请日：2020-02-04

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 鱼住修司 ,  丸山徹 ,  本岛靖之

IPC: H01L21/67 ,  B08B1/00 ,  B08B1/02 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 本发明提供一种清洗部件安装部、清洗部件组件以及基板清洗装置，在清洗部件安装部(10)的表面安装有清洗部件(90)。清洗部件安装部(10)具有：主体(20)；清洗液导入部(30)，该清洗液导入部在所述主体(20)的内部延伸；以及多个清洗液供给孔(40)，该多个清洗液供给孔与所述清洗液导入部(30)连通。所述清洗液导入部(30)构成为所述清洗液从第一端部(11)侧流入，位于与所述第一端部(11)相反一侧的第二端部(12)侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所(40)占据的所述主体(20)的表面的面积比大于位于所述第一端部(11)侧的第一区域中的所述清洗液供给孔(40)所占据的所述主体(20)的表面的面积比。