公开(公告)号：CN119997333A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202411476602.4

申请日：2024-10-22

Applicant: 株式会社达谊恒

Inventor： 玉城怜士 ,  长谷川慎一

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明提供不需要用于使带电的壳体旋转的电气电性轴承（集电环）、电动刷、构造简易且能够廉价、并且能够降低伴随着向旋转筒部的接触的危险性的等离子体处理装置。等离子体处理装置具备：内侧电极；电极保持体；外侧电极，其形成为筒状，并包围内侧电极及电极保持体；绝缘管，其配置于内侧电极及电极保持体与外侧电极之间，并包围内侧电极及电极保持体；旋转筒部，其由绝缘材料构成并且形成为包围外侧电极的筒状，且能够绕内侧电极的中心轴相对于外侧电极相对旋转；以及驱动机构，其使旋转筒部旋转。

公开(公告)号：CN119172912A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202410785026.5

申请日：2024-06-18

Applicant: 株式会社达谊恒

Inventor： 玉城怜士 ,  纳富隼人 ,  天立茂树 ,  长谷川慎一

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明提供能够减少翅片构件的损伤的等离子体处理装置。等离子体处理装置具备内侧电极、电极保持体、外侧电极、将内侧电极及电极保持体包围的绝缘构件、用于通过使供给到绝缘构件的内侧的处理气体回转从而形成绕内侧电极的回转流的翅片构件以及吹出等离子体化后的回转流的喷嘴。绝缘构件直接或间接地固定于外侧电极，翅片构件以从内侧电极分离的状态固定于电极保持体，并且与绝缘构件的内周面接触。