公开(公告)号：CN106795624B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201680002116.6

申请日：2016-06-03

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 松村仁実

IPC: C23C14/34 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C14/3407 ,  C22C21/00 ,  C23C14/34 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明提供一种具有与现有的铝溅镀靶材相同程度的导电性且可减少损伤的发生的溅镀靶材。本发明的铝溅镀靶材包含0.005原子％～0.04原子％的Ni、及0.005原子％～0.06原子％的La，且剩余部分为Al及不可避免的杂质。

公开(公告)号：CN110023531A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201780073416.8

申请日：2017-10-26

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 奥野博行 ,  松村仁実

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/00

Abstract: 一种铝合金溅镀靶材，其特征在于：包含合计为0.01原子％～0.04原子％的选自由Ni、Cr、Fe、Co及Cu所组成的群组中的至少一种元素、以及合计为0.01原子％～0.06原子％的选自La以外的稀土元素的至少一种元素，且剩余部分为Al及不可避免的杂质。

公开(公告)号：CN106795624A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201680002116.6

申请日：2016-06-03

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 松村仁実

IPC: C23C14/34 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C14/3407 ,  C22C21/00 ,  C23C14/34 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明提供一种具有与现有的铝溅镀靶材相同程度的导电性且可减少损伤的发生的溅镀靶材。本发明的铝溅镀靶材包含0.005原子％～0.04原子％的Ni、及0.005原子％～0.06原子％的La，且剩余部分为Al及不可避免的杂质。