公开(公告)号：CN101427173B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200780014478.8

申请日：2007-07-10

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 安佑正 ,  金正焕 ,  柳希昱

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G01N21/88 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/8903 ,  G01N2201/104

Abstract: 本发明提供一种视觉检查系统和用于检查各类工件的工件检查方法。该视觉检查系统包括平台、第一移送装置、摄像机、第二移送装置和计算机。该第一移送装置安装在平台的上表面上，具有用于支撑工件的工作台，并在第一位置和第二位置之间直线移动该工作台。摄像机布置在平台上面，用于取得工件的图像，以输出图像数据。第二移送装置安装在平台的上表面上，用于在第一位置和第二位置之间直线移动摄像机。计算机控制第一移送装置，以将工作台从第一位置移动至第二位置，并控制第二移送装置，将摄像机从第二位置移动至第一位置。

公开(公告)号：CN102027315A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200880121148.3

申请日：2008-04-01

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  黄映珉 ,  安佑正

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0675

Abstract: 本发明涉及一种厚度测定方法，本发明所涉及的厚度测定方法利用干涉计测定层叠在基底层上的对象层的厚度，上述厚度测定方法包括：通过由与上述对象层实质上相同的材质构成并具有相互不同厚度的诸多样品层，获得对于上述样品层厚度的相位差的关系式的步骤；在空气层和基底层的分界面上，求出对于入射到上述基底层的光轴方向的第一干涉信号的步骤；在上述对象层和上述基底层的分界面上，求出对于上述光轴方向的第二干涉信号的步骤；对于上述光轴方向，在实质上相同的高度上，求出上述第一干涉信号的相位和上述第二干涉信号的相位之间的相位差的步骤；以及将上述相位差代入上述关系式来确定上述对象层厚度。

公开(公告)号：CN102027315B

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN200880121148.3

申请日：2008-04-01

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  黄映珉 ,  安佑正

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0675

Abstract: 本发明涉及一种厚度测定方法，本发明所涉及的厚度测定方法利用干涉计测定层叠在基底层上的对象层的厚度，上述厚度测定方法包括：通过由与上述对象层实质上相同的材质构成并具有相互不同厚度的诸多样品层，获得对于上述样品层厚度的相位差的关系式的步骤；在空气层和基底层的分界面上，求出对于入射到上述基底层的光轴方向的第一干涉信号的步骤；在上述对象层和上述基底层的分界面上，求出对于上述光轴方向的第二干涉信号的步骤；对于上述光轴方向，在实质上相同的高度上，求出上述第一干涉信号的相位和上述第二干涉信号的相位之间的相位差的步骤；以及将上述相位差代入上述关系式来确定上述对象层厚度。

公开(公告)号：CN101427173A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200780014478.8

申请日：2007-07-10

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 安佑正 ,  金正焕 ,  柳希昱

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G01N21/88 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/8903 ,  G01N2201/104

Abstract: 本发明提供一种视觉检查系统和用于检查各类工件的工件检查方法。该视觉检查系统包括平台、第一移送装置、摄像机、第二移送装置和计算机。该第一移送装置安装在平台的上表面上，具有用于支撑工件的工作台，并在第一位置和第二位置之间直线移动该工作台。摄像机布置在平台上面，用于取得工件的图像，以输出图像数据。第二移送装置安装在平台的上表面上，用于在第一位置和第二位置之间直线移动摄像机。计算机控制第一移送装置，以将工作台从第一位置移动至第二位置，并控制第二移送装置，将摄像机从第二位置移动至第一位置。