真空泵
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113795674B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201980095512.1

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 在真空泵(1)中,在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成,并作为气体密封部发挥功能,能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可,由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除:因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。

    真空泵
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113795674A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN201980095512.1

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 在真空泵(1)中,在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成,并作为气体密封部发挥功能,能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可,由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除:因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。

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