公开(公告)号：CN118414496A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202180104284.7

申请日：2021-12-24

Applicant: 樫山工业株式会社

Inventor： 武井治 ,  油井将希 ,  岩下航己 ,  姜柳成 ,  松永克树

IPC: F04C18/18

Abstract: 干式真空泵(1)具备净化气体供给路径(9)。在泵室(6)的固定侧的室内端面(63)与罗茨转子(24)的转子端面(243)之间沿转子端面(243)的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分，并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分(94)。经由净化气体供给路径(9)而将净化气体向间隙部分(94)供给。罗茨转子(24)在净化气体滞留于间隙部分(94)的状态下旋转，将泵室(6)的室内端面(63)附近的吸引气体稀释。抑制了生成物析出并堆积于室内端面(63)、以及室内端面(63)、转子端面(243)腐蚀等弊端。

公开(公告)号：CN113795674B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201980095512.1

申请日：2019-05-17

Applicant: 樫山工业株式会社

Inventor： 乙田朝史 ,  茂木幸太郎 ,  油井将希 ,  岩下航己

IPC: F04C25/02

Abstract: 在真空泵(1)中，在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成，并作为气体密封部发挥功能，能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可，由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除：因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。

公开(公告)号：CN113795674A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201980095512.1

申请日：2019-05-17

Applicant: 樫山工业株式会社

Inventor： 乙田朝史 ,  茂木幸太郎 ,  油井将希 ,  岩下航己

IPC: F04C25/02

Abstract: 在真空泵(1)中，在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成，并作为气体密封部发挥功能，能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可，由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除：因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。