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公开(公告)号：CN118414496A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202180104284.7
申请日：2021-12-24
Applicant: 樫山工业株式会社
IPC: F04C18/18
Abstract: 干式真空泵(1)具备净化气体供给路径(9)。在泵室(6)的固定侧的室内端面(63)与罗茨转子(24)的转子端面(243)之间沿转子端面(243)的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分，并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分(94)。经由净化气体供给路径(9)而将净化气体向间隙部分(94)供给。罗茨转子(24)在净化气体滞留于间隙部分(94)的状态下旋转，将泵室(6)的室内端面(63)附近的吸引气体稀释。抑制了生成物析出并堆积于室内端面(63)、以及室内端面(63)、转子端面(243)腐蚀等弊端。
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公开(公告)号：CN114096753B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201980095506.6
申请日：2019-06-19
Applicant: 樫山工业株式会社
Abstract: 在真空泵(1)中，规定泵室(2)的两端的侧板(6、7)为构成为包括第1、第2板(20、30)的分割结构的板。在第1、第2板(20、30)之间形成有加热器设置用的狭缝(8、9)，薄膜加热器(10、11)以与泵室侧的第1板(20)面接触的状态而装配于狭缝(8、9)内。利用薄膜加热器(10、11)从内部对侧板(6、7)直接进行加热，所以能够高效地提高泵室内壁部分的加热效率，能够高效地抑制生成物的附着、堆积。
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公开(公告)号：CN113795674B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201980095512.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 樫山工业株式会社
IPC: F04C25/02
Abstract: 在真空泵(1)中，在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成，并作为气体密封部发挥功能，能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可，由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除：因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。
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公开(公告)号：CN113795674A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN201980095512.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 樫山工业株式会社
IPC: F04C25/02
Abstract: 在真空泵(1)中，在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成，并作为气体密封部发挥功能，能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可，由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除：因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。
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公开(公告)号：CN114096753A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN201980095506.6
申请日：2019-06-19
Applicant: 樫山工业株式会社
Abstract: 在真空泵(1)中，规定泵室(2)的两端的侧板(6、7)为构成为包括第1、第2板(20、30)的分割结构的板。在第1、第2板(20、30)之间形成有加热器设置用的狭缝(8、9)，薄膜加热器(10、11)以与泵室侧的第1板(20)面接触的状态而装配于狭缝(8、9)内。利用薄膜加热器(10、11)从内部对侧板(6、7)直接进行加热，所以能够高效地提高泵室内壁部分的加热效率，能够高效地抑制生成物的附着、堆积。
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