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发明公开
干式真空泵审中-实审

公开(公告)号：CN118414496A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202180104284.7

申请日：2021-12-24

Applicant: 樫山工业株式会社

Inventor： 武井治 , 油井将希 , 岩下航己 , 姜柳成 , 松永克树

IPC: F04C18/18

Abstract: 干式真空泵(1)具备净化气体供给路径(9)。在泵室(6)的固定侧的室内端面(63)与罗茨转子(24)的转子端面(243)之间沿转子端面(243)的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分，并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分(94)。经由净化气体供给路径(9)而将净化气体向间隙部分(94)供给。罗茨转子(24)在净化气体滞留于间隙部分(94)的状态下旋转，将泵室(6)的室内端面(63)附近的吸引气体稀释。抑制了生成物析出并堆积于室内端面(63)、以及室内端面(63)、转子端面(243)腐蚀等弊端。

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