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公开(公告)号：CN117498827A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311574676.7
申请日：2023-11-23
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本发明实施例提供的双通带横向激励体声波谐振器及其制作方法、滤波器，谐振器包括压电层、电极层和异质层；异质层的材质与压电层的材质不同；电极层和异质层位于压电层在厚度方向相背离的两侧；电极层包括叉指电极和块电极，叉指电极与压电层重叠的区域形成有源区；异质层与有源区在厚度方向上的投影全部交叠；本发明的技术方案，通过在压电层下增加了异质层，可以改变谐振器厚度方向的应力与电场分布，使谐振器的偶数阶模态机械‑电相互作用能不为0，解决了传统谐振器只能激发单一谐振模态的问题，可以同时激发A2和A3谐振模态，应用到滤波器中，有利于实现设备的小型化和高度集成化。
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公开(公告)号：CN117498827B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202311574676.7
申请日：2023-11-23
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本发明实施例提供的双通带横向激励体声波谐振器及其制作方法、滤波器，谐振器包括压电层、电极层和异质层；异质层的材质与压电层的材质不同；电极层和异质层位于压电层在厚度方向相背离的两侧；电极层包括叉指电极和块电极，叉指电极与压电层重叠的区域形成有源区；异质层与有源区在厚度方向上的投影全部交叠；本发明的技术方案，通过在压电层下增加了异质层，可以改变谐振器厚度方向的应力与电场分布，使谐振器的偶数阶模态机械‑电相互作用能不为0，解决了传统谐振器只能激发单一谐振模态的问题，可以同时激发A2和A3谐振模态，应用到滤波器中，有利于实现设备的小型化和高度集成化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118041280A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311580945.0
申请日：2023-11-23
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本申请提供一种薄膜体声波谐振器，涉及射频技术领域，包括：衬底，所述衬底形成空腔，所述衬底上依次层叠有种子层、底电极层、压电层和顶电极层，所述顶电极层形成有多个镂空区，所述镂空区位于所述空腔、所述底电极层、所述顶电极层层叠方向的投影重叠区域之外。镂空区的刻蚀在声波能量传输过程中引入了声阻抗失配的空气反射边界，能级上产生相应势垒，将能量集中在谐振器中间位置，相当于将质点位移约束在中心谐振区域，提高谐振器中间位置压电层的储能密度，削弱谐振器边缘区域的机械振动，从根源上可以减少能量的泄露，有效改善谐振器的机械品质因数，抑制谐振器的杂散模态。
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公开(公告)号：CN117595820A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311768421.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
IPC: H03H9/02 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H3/08 , H10N30/082
Abstract: 本申请提供一种声表面波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，通过倾斜凹槽会使原本的声表面波更深入压电层中，形成类体波的模态。这种倾斜的凹槽的存在会使声波在厚度方向产生共振，与声表面波耦合，通过这种方式增强谐振器中心孔径处的共振，提升谐振器的品质因数。
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公开(公告)号：CN221509556U
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202323474343.5
申请日：2023-12-19
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本申请提供一种薄膜体声波谐振器，涉及射频技术领域，包括依次层叠的衬底层、种子层、底电极层、压电层和顶电极层，其中，所述衬底层和所述种子层之间形成空腔，所述空腔在平面方向的投影为环形以形成环形空腔。环形空腔将谐振器在中心谐振区域分成有空腔区和无空腔区两种振动状态，不同声阻抗会形成边界层，对顶电极层、底电极层施加电信号，使压电层产生振动，从而带动环形空腔内的空气振动，振动再产生的声波经过空气‑固体声阻抗边界发生透射进入无空腔区，与无空腔区内的固体声波发生共振，增强体波振幅、增强谐振频率、提高品质因数Q值。
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公开(公告)号：CN221151328U
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202322904332.X
申请日：2023-10-26
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 本申请提供一种体声波谐振器及滤波器中，叉指电极层包括多个间隔设置的第一电极，以及多个间隔设置的第二电极，多个第一电极与多个第二电极沿第一方向延伸，且多个第一电极与多个第二电极沿第二方向交替设置，其中，第一电极的边缘的至少部分呈曲线；和/或第二电极的边缘的至少部分呈曲线。具体的，通过设置第一电极和/或第二电极的边缘的至少部分呈曲线，“曲面反射边界”可以对电极区域以及电极之间的间隙区域的杂散模态起到有效的散射作用，从而抑制谐振器的杂散模态，减少主模态的能量损失，提高谐振器的机电耦合系数，进而避免基于该体声波谐振器的滤波器出现较多的带内纹波和较高的损耗。
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公开(公告)号：CN222441678U
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202420572993.9
申请日：2024-03-22
Applicant: 武汉敏声新技术有限公司
Abstract: 一种横向激励体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该横向激励体声波谐振器包括衬底、设于衬底上的绝缘层、设于绝缘层上的压电层，以及设于压电层上的叉指电极；叉指电极包括两相对设置的电极结构，电极结构包括汇流排和沿第一方向并联连接于汇流排同侧的多个电极条，且其中一个电极结构的电极条与另一个电极结构的汇流排之间具有间隙区；横向激励体声波谐振器还包括位于衬底上且设于间隙区内的声子晶体结构，声子晶体结构包括呈矩阵排布的多个声子晶体部，多个声子晶体部沿第一方向排布成M列，沿第二方向排布成N行，M为大于或等于3的整数，N大于或等于0的整数。该横向激励体声波谐振器能够提高谐振器的机械品质因数，抑制杂散模态。
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