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公开(公告)号:CN100387898C
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN200510082198.3
申请日:2005-07-01
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: B01D35/02 , B01D46/0036 , B01D46/4272 , B01D2275/40
Abstract: 本发明是容纳和分配高纯流体的装置,包含能够在其内部容纳大量高纯流体的外容器;和外容器相连以分配高纯流体的出口;能够控制高纯流体通过出口流出外容器的阀;至少部分位于外容器中并和出口连接的内容器,具有和外容器的内部连接的入口;包含在内容器内的净化介质,以净化高纯流体中的不希望有的成分;以及防止高纯流体从内容器流到外容器内部的流体流动控制设备。
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公开(公告)号:CN1734155A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510082198.3
申请日:2005-07-01
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: B01D35/02 , B01D46/0036 , B01D46/4272 , B01D2275/40
Abstract: 本发明是容纳和分配高纯流体的装置,包含能够在其内部容纳大量高纯流体的外容器;和外容器相连以分配高纯流体的出口;能够控制高纯流体通过出口流出外容器的阀;至少部分位于外容器中并和出口连接的内容器,具有和外容器的内部连接的入口;包含在内容器内的净化介质,以净化高纯流体中的不希望有的成分;以及防止高纯流体从内容器流到外容器内部的流体流动控制设备。
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