公开(公告)号：CN103276370A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310216757.X

申请日：2005-09-28

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： A.S.鲁卡斯 ,  E.J.小卡瓦基 ,  M.L.奥内尔 ,  J.L.文森特 ,  R.N.维蒂斯

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  H01L21/31

CPC classification number: C03C3/045 ,  C23C16/30 ,  C23C16/401 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02203 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/31695 ,  Y10T428/31663

Abstract: 本发明披露了一种多孔有机硅酸盐玻璃(OSG)薄膜：SivOwCxHyFz，其中v+w+x+y+z＝100％，v为10-35％原子，w为10-65％原子，x为5-30％原子，y为10-50％原子，而z为0-15％原子，所述薄膜具有带碳键如甲基(Si-CH3)的硅酸盐网络并且有直径小于3nm当量球体直径的孔，且介电常数小于2.7。由有机硅烷和/或有机硅氧烷前体，以及独立的成孔前体，通过化学气相淀积方法沉积预备薄膜。成孔剂前体在预备薄膜内形成孔，随后被除去以提供多孔薄膜。组合物，即成膜成套工具包括：含至少一个Si-H键的有机硅烷和/或有机硅氧烷化合物，以及含醇、醚、羰基、羧酸、酯、硝基、伯胺、仲胺和/或叔胺官能团或其组合的烃的成孔剂前体。