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公开(公告)号：CN1311097C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200410071478.X
申请日：2004-05-28
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C03C11/00 , C03C3/045 , C23C16/401 , H01L21/02126 , H01L21/02203 , H01L21/02216 , H01L21/02274 , H01L21/31633 , H01L21/31695 , Y10T428/31663
Abstract: 一种通过调节此处公开的混合物中有机基团、例如甲基基团的量，来制备具有增强的机械性能、低介电常数有机硅酸盐(OSG)的化学气相沉积方法。在本发明一实施方案中，由包括含有3-4个Si-O键/Si原子、0-1个选自Si-H，Si-Br以及Si-Cl键中的一种键/Si原子、以及无Si-C键的第一含硅前体，以及一含有至少一个Si-C键/Si原子的第二含硅前体的混合物沉积得到OSG薄膜。在本发明另一实施方案中，由包括一种不对称含硅前体的混合物沉积得到OSG薄膜。在任一实施方案中，为提供一种多孔的OSG薄膜，混合物中还可以含有一种成孔剂前体。
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公开(公告)号：CN100467411C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200480001513.9
申请日：2004-01-14
Applicant: 迪亚摩弗股份公司
Inventor： S·埃斯马艾尔扎德
Abstract: 本发明涉及通式为axbygz的氮化物玻璃，其中a是一种至少包括一种正电性元素的玻璃改性剂，b包括Si，B，Ge，Ga和/或Al，g是N或者N和O，此时O∶N原子比在65∶35到0∶100之间，一种制备氮化物玻璃的方法以及这种玻璃的应用。结果清晰的表明，当用氮原子取代氧原子，强化了网络原子结构时，氧化物玻璃的物理和机械性能比如硬度，弹性模量，断裂韧性以及玻璃化转变温度得到了改良/提高。并且，结果表明可以得到非常高的折射率。
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公开(公告)号：CN1507015A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN200310120274.6
申请日：2003-12-12
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: H01L21/31 , H01L21/312
CPC classification number: C03C3/04 , C03C3/045 , C03C14/00 , C03C14/008 , C23C16/30 , C23C16/401 , H01L21/02131 , H01L21/02203 , H01L21/02211 , H01L21/02216 , H01L21/02274 , H01L21/02337 , H01L21/3122 , H01L21/3127 , H01L21/316 , H01L21/31629 , H01L21/31633 , Y10T428/31663
Abstract: 有机氟化硅玻璃膜既含有有机物质，也含有无机氟，而没有大量的碳氟化合物。较佳膜用公式SivOwCxHyFz来表示，其中，v+w+x+y+z＝100％，v从10到35原子％，w从10到65原子％，y从10到50原子％，x从1到30原子％，z从0.1到15原子％，x/z为大于0.25的任意值，该膜中基本上没有氟碳键合。一个具体实施例，其提供一个化学气相沉积(CVD)方法，该方法包括：提供一个带有基板的真空腔体；将气相反应物注入真空腔体，该反应物包括一种提供氟的气体，一种提供氧的气体，和至少一种前驱气体，其可以是有机硅烷和有机硅氧烷；提供能量来诱发气体反应物反应，并在基板上成膜。
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公开(公告)号：CN1389591A
公开(公告)日：2003-01-08
申请号：CN02120627.9
申请日：2002-05-23
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: H01L21/02131 , C03C3/045 , C03C14/008 , C23C16/30 , C23C16/401 , H01L21/02203 , H01L21/02211 , H01L21/02216 , H01L21/02274 , H01L21/3122 , H01L21/3127 , H01L21/316 , H01L21/31633
Abstract: 本发明披露了一种有机氟硅酸盐玻璃薄膜,所述薄膜包含有机物和无机物,不包括明显量的氟碳物。优选的薄膜由下式表示:SivOwCxHyFz,式中v+w+x+y+z=100%,v从10－35原子%,w从10－65原子%,y从10－50原子%,x从1－30原子%,z从0.1－15原子%,x/z任选地大于0.25,其中,基本上没有氟连接至碳上。另外本发明还提供了一种CVD方法,包括:(a)在真空室内提供基材;(b)将气相反应剂引入真空室中,所述反应剂包含供氟气体、供氧气体、和至少一种选自有机硅烷和有机硅氧烷的前体气体;和(c)对所述室中的气相反应剂施加能量,以使气相反应剂发生反应并在基材上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN106573823A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580038094.4
申请日：2015-05-13
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/045 , C03C3/06 , C03C3/091 , C03C3/111 , C03C21/007 , C03C23/007 , C03C2201/02 , C03C2201/24 , Y10T428/315
Abstract: 本文公开了不含碱金属的玻璃，这些玻璃具有(重量％)：50≤SiO2≤80％、2≤Al2O3≤17％、8≤B2O3≤36％和大于或等于2％且小于或等于25％的CaO、MgO、BaO、SrO或ZnO中的至少一种。这些不含碱金属的玻璃具有包含大于0.2重量％的N的表面层。这些不含碱金属的玻璃是通过氮化处理来得到的，其展现出增强的强度、耐划痕性和化学稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1735570A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200480001513.9
申请日：2004-01-14
Applicant: 迪亚摩弗股份公司
Inventor： S·埃斯马艾尔扎德
Abstract: 本发明涉及通式为axbygz的氮化物玻璃，其中a是一种至少包括一种正电性元素的玻璃改性剂，b包括Si，B，Ge，Ga和/或Al，g是N或者N和O，此时O∶N原子比在65∶35到0∶100之间，一种制备氮化物玻璃的方法以及这种玻璃的应用。结果清晰的表明，当用氮原子取代氧原子，强化了网络原子结构时，氧化物玻璃的物理和机械性能比如硬度，弹性模量，断裂韧性以及玻璃化转变温度得到了改良/提高。并且，结果表明可以得到非常高的折射率。
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公开(公告)号：CN106256801A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201610396669.6
申请日：2016-06-07
Applicant: 捷恩智株式会社
IPC: C04B35/56 , C04B35/626 , C10M125/26 , C09K3/14
CPC classification number: C01B31/301 , C01B32/907 , C01P2004/32 , C01P2004/60 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C03C1/006 , C03C3/045 , C03C12/00 , C04B35/5603 , C04B35/65 , C04B2235/3895 , C04B2235/483 , C08G77/06 , C09K3/1418 , C10M103/02 , C10M2201/10 , C10N2230/06 , C10N2250/08 , C04B35/626 , C04B2235/5436 , C09K3/1409 , C10M125/26
Abstract: 本发明提供一种平均粒径为0.1μm～100μm的范围且圆球度为0.95～1.0的球状的碳氧化硅微粒子及其制造方法、润滑剂、研磨剂。本发明包括通过以下方式获得的球状的碳氧化硅粉粒体及其制造方法：将有机三烷氧基硅烷在pH值3～6的乙酸水溶液中水解后，接着对该水解物添加pH值7～12的氨水等碱性水溶液，在碱性范围内缩合，将由此所生成的作为球状的碳氧化硅前体的不具有熔点或软化点的球状的聚倍半硅氧烷粒状物在惰性环境下以600℃～1400℃的煅烧温度煅烧。本发明的球状的碳氧化硅粉粒体的圆球度优异，硬度高，破坏强度高，因此其为制造研磨剂及其添加剂、润滑剂及其添加剂、聚合物添加剂或机器零件等的原材料。
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公开(公告)号：CN103276370A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310216757.X
申请日：2005-09-28
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/56 , H01L21/31
CPC classification number: C03C3/045 , C23C16/30 , C23C16/401 , C23C16/56 , H01L21/02126 , H01L21/02203 , H01L21/02274 , H01L21/02348 , H01L21/3105 , H01L21/3122 , H01L21/31695 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明披露了一种多孔有机硅酸盐玻璃(OSG)薄膜：SivOwCxHyFz，其中v+w+x+y+z＝100％，v为10-35％原子，w为10-65％原子，x为5-30％原子，y为10-50％原子，而z为0-15％原子，所述薄膜具有带碳键如甲基(Si-CH3)的硅酸盐网络并且有直径小于3nm当量球体直径的孔，且介电常数小于2.7。由有机硅烷和/或有机硅氧烷前体，以及独立的成孔前体，通过化学气相淀积方法沉积预备薄膜。成孔剂前体在预备薄膜内形成孔，随后被除去以提供多孔薄膜。组合物，即成膜成套工具包括：含至少一个Si-H键的有机硅烷和/或有机硅氧烷化合物，以及含醇、醚、羰基、羧酸、酯、硝基、伯胺、仲胺和/或叔胺官能团或其组合的烃的成孔剂前体。
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公开(公告)号：CN1255573C
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN02120627.9
申请日：2002-05-23
Applicant: 气体产品与化学公司
CPC classification number: H01L21/02131 , C03C3/045 , C03C14/008 , C23C16/30 , C23C16/401 , H01L21/02203 , H01L21/02211 , H01L21/02216 , H01L21/02274 , H01L21/3122 , H01L21/3127 , H01L21/316 , H01L21/31633
Abstract: 本发明披露了一种有机氟硅酸盐玻璃薄膜，所述薄膜包含有机物和无机物，不包括明显量的氟碳物。优选的薄膜由下式表示：SivOwCxHyFz，式中v+w+x+y+z＝100%，v从10-35原子%，w从10-65原子%，y从10-50原子%，x从1-30原子%，z从0.1-15原子%，x/z任选地大于0.25，其中，基本上没有氟连接至碳上。另外本发明还提供了一种CVD方法，包括：(a)在真空室内提供基材；(b)将气相反应剂引入真空室中，所述反应剂包含供氟气体、供氧气体、和至少一种选自有机硅烷和有机硅氧烷的前体气体；和(c)对所述室中的气相反应剂施加能量，以使气相反应剂发生反应并在基材上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN1576390A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410071478.X
申请日：2004-05-28
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: C23C16/40
CPC classification number: C03C11/00 , C03C3/045 , C23C16/401 , H01L21/02126 , H01L21/02203 , H01L21/02216 , H01L21/02274 , H01L21/31633 , H01L21/31695 , Y10T428/31663
Abstract: 一种通过调节此处公开的混合物中有机基团、例如甲基基团的量，来制备具有增强的机械性能、低介电常数有机硅酸盐(OSG)的化学气相沉积方法。在本发明一实施方案中，由包括含有3－4个Si－O键/Si原子、0－1个选自Si－H，Si－Br以及Si－Cl键中的一种键/Si原子、以及无Si－C键的第一含硅前体，以及一含有至少一个Si－C键/Si原子的第二含硅前体的混合物沉积得到OSG薄膜。在本发明另一实施方案中，由包括一种不对称含硅前体的混合物沉积得到OSG薄膜。在任一实施方案中，为提供一种多孔的OSG薄膜，混合物中还可以含有一种成孔剂前体。
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