公开(公告)号：CN103804115A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201410042842.3

申请日：2008-12-19

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： S.G.梅厄加 ,  K.A.钱德勒 ,  M.K.哈斯 ,  M.L.奥内尔 ,  D.西纳托尔

IPC: C07C7/20 ,  C07C13/42 ,  C07C11/18

CPC classification number: C07C7/20 ,  C07C2602/42 ,  C07C13/39

Abstract: 本发明涉及用于稳定不饱和烃基前体的稳定剂。稳定化组合物基本由不饱和烃基材料和选自羟基二苯甲酮和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂构成。稳定化组合物基本由不饱和烃基前体材料、至少一种极性液体和选自羟基二苯甲酮、硝酰游离基型稳定剂和氢醌基稳定剂的稳定剂构成。使不饱和烃基前体材料稳定以防聚合的方法包括提供选自羟基二苯甲酮和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。使不饱和烃基前体材料与至少一种极性液体的混合物稳定以防聚合的方法包括向该混合物中加入选自羟基二苯甲酮和硝酰游离基型稳定剂的稳定剂。

公开(公告)号：CN103276370A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310216757.X

申请日：2005-09-28

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： A.S.鲁卡斯 ,  E.J.小卡瓦基 ,  M.L.奥内尔 ,  J.L.文森特 ,  R.N.维蒂斯

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/56 ,  H01L21/31

CPC classification number: C03C3/045 ,  C23C16/30 ,  C23C16/401 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02203 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/31695 ,  Y10T428/31663

Abstract: 本发明披露了一种多孔有机硅酸盐玻璃(OSG)薄膜：SivOwCxHyFz，其中v+w+x+y+z＝100％，v为10-35％原子，w为10-65％原子，x为5-30％原子，y为10-50％原子，而z为0-15％原子，所述薄膜具有带碳键如甲基(Si-CH3)的硅酸盐网络并且有直径小于3nm当量球体直径的孔，且介电常数小于2.7。由有机硅烷和/或有机硅氧烷前体，以及独立的成孔前体，通过化学气相淀积方法沉积预备薄膜。成孔剂前体在预备薄膜内形成孔，随后被除去以提供多孔薄膜。组合物，即成膜成套工具包括：含至少一个Si-H键的有机硅烷和/或有机硅氧烷化合物，以及含醇、醚、羰基、羧酸、酯、硝基、伯胺、仲胺和/或叔胺官能团或其组合的烃的成孔剂前体。