公开(公告)号：CN101740345A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910145666.5

申请日：2009-05-13

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： 忠·克里斯汀·董 ,  R·E·帕特里克 ,  G·K·阿斯拉尼安 ,  R·格什

IPC: H01L21/00 ,  B23K31/10

CPC classification number: B23K1/008 ,  B23K1/206 ,  B23K35/268 ,  B23K35/38 ,  B23K2101/40 ,  C23G5/00 ,  H01J37/32431 ,  H01J37/32706 ,  H01L21/02068 ,  H01L21/67069 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/26 ,  H05K3/3489 ,  H05K2203/087 ,  H05K2203/095 ,  H05K2203/105 ,  H05K2203/1157 ,  H01L2924/00

Abstract: 本文描述了一种从目标区域内的基材表面去除金属氧化物的方法和装置。在一个特定的实施方案中，所述方法和装置包含具有突出的导电尖端阵列的激励电极，其中所述导电尖端通过导线电连接并分成第一电连接组和第二电连接组，其中用负偏置的DC电压源启动至少部分所述导电尖端而在所述目标区域内产生电子，所述电子附着到所述目标区域中存在的至少部分还原气体上而形成带负电的还原气体，所述带负电的还原气体与所述处理表面接触而还原所述基材处理表面上的金属氧化物。

公开(公告)号：CN101740345B

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN200910145666.5

申请日：2009-05-13

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： 忠·克里斯汀·董 ,  R·E·帕特里克 ,  G·K·阿斯拉尼安 ,  R·格什

IPC: H01L21/00 ,  B23K31/10

CPC classification number: B23K1/008 ,  B23K1/206 ,  B23K35/268 ,  B23K35/38 ,  B23K2101/40 ,  C23G5/00 ,  H01J37/32431 ,  H01J37/32706 ,  H01L21/02068 ,  H01L21/67069 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/26 ,  H05K3/3489 ,  H05K2203/087 ,  H05K2203/095 ,  H05K2203/105 ,  H05K2203/1157 ,  H01L2924/00

Abstract: 本文描述了一种从目标区域内的基材表面去除金属氧化物的方法和装置。在一个特定的实施方案中，所述方法和装置包含具有突出的导电尖端阵列的激励电极，其中所述导电尖端通过导线电连接并分成第一电连接组和第二电连接组，其中用负偏置的DC电压源启动至少部分所述导电尖端而在所述目标区域内产生电子，所述电子附着到所述目标区域中存在的至少部分还原气体上而形成带负电的还原气体，所述带负电的还原气体与所述处理表面接触而还原所述基材处理表面上的金属氧化物。