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公开(公告)号：CN116899438A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310748594.3
申请日：2023-06-25
Applicant: 江苏科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于化学机械抛光的抛光液自动配制及均匀施液装置。属于半导体加工用抛光液供给技术领域；包括基座、锁紧阀、气动撑杆、支承板、支承架、环形测力传感器、物料缸、料缸盖、增压泵、触控板、轴承盖、大齿轮、压力杆、抛光头、抛光头下盘、控流盘、小齿轮、电机、电磁阀、搅拌缸、搅缸盖、弹簧、大键、小键、密封圈、动环座、压力簧、压力环、转动环、静止环、轴承座、滚珠、静管、油腔盖、搅拌器及垫片等设备；此装置可解决在化学机械抛光工艺过程中的抛光液配制、搅拌、输送、精准施液等涉及化学机械抛光工艺过程中抛光液供给的问题，以简化人工操作程序，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN116652788A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310374596.0
申请日：2023-04-10
Applicant: 江苏科技大学
Abstract: 本发明涉及控制抛光装置技术领域，具体涉及一种实时监测的抛光装置及方法，包括支撑板、设置于支撑板上方一侧的抛光机功率调节器，设置于支撑板上方一端的驱动电机，驱动电机用于向抛光机功率调节器提供动力，所述抛光机功率调节器动力输出端固定安装有抛光盘；还包括：机械臂控制装置；将抛光工件设置于抛光盘与压力套筒之间，并在压力套筒内设有的套筒中安装有激光位移传感装置，通过激光位移传感装置能够有效的对抛光工件实施实时测量，从而实现无接触抛光工件表面即可对抛光量实施检测的效果，同时还能够有效的避免因接触形成表面损伤的作用，进一步提升了抛光精度的效果。
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公开(公告)号：CN118513980A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410662588.0
申请日：2024-05-27
Applicant: 江苏科技大学
Abstract: 本发明公开了一种自动抛光集成装置及使用方法，包括底座、旋转机构、机械爪、抛光模块、清洗模块和检测模块；本发明采用超声波清洗装置清洗工件、自动对焦显微镜头和机械爪移动的方式结合对焦采集图像、法兰盘旋转机构和气缸控制机械爪的旋转升降。本专利采用了红外线定位装置完成对刀，且本专利有多个工位能在加工工件时对已加工工件进行清洗、烘干、测量表面粗糙度，可连续对抛光工件进行抛光、清洗烘干及表面粗糙度检测，实现工件抛光工序的全自动化，提高抛光效率等需求。
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公开(公告)号：CN114984812B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202210662943.5
申请日：2022-06-13
Applicant: 江苏科技大学
IPC: B01F29/64 , B01F35/30 , B01F35/32 , B01F35/43 , B01F101/27
Abstract: 本发明涉及晶圆抛光液搅拌装置，包括机架、辅助支撑单元、滚筒、搅拌单元、入料单元、出料单元以及动力部。辅助支撑单元组装于机架上，且协同机架以对滚筒的轴向窜动量和径向偏摆量进行限制。借助入料单元、出料单元分别向着滚筒的内腔输入待混合的抛光液、泵出已混合的抛光液。滚筒和搅拌单元均借助于动力部进行驱动。如此，借由内置于卷筒的搅拌单元可以实现对待混合抛光液的扰动，与此同时，待混合抛光液因受到来自于滚筒内侧壁摩擦力作用而发生周向扰动，进而加剧了抛光液的混合强度。另外，搅拌单元和滚筒的自转方向始终保持反向，混合进程中两股不同流向的抛光液可在小区域内频繁地发生对向碰撞，且因高速扰动可在其局部区域形成稳定紊流。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118927117A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411278330.7
申请日：2024-09-12
Applicant: 江苏科技大学
Abstract: 本发明公开了一种吸附式多功能自动抛光机，涉及抛光设备技术领域，包括机体，所述机体上设置有驱动机构、调节机构、吸附机构、抛光机构、清洁机构和擦拭机构；其中，所述驱动机构用来驱动机体，所述吸附机构用来将机体吸附到工件上，所述调节机构用来调整抛光机构的位置，所述抛光机构用来对工件进行剖光，所述清洁机构和擦拭机构分别用来对工件进行清洁和擦拭。本发明能够实现在工件表面进行自动抛光作业。
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公开(公告)号：CN117309654A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311236073.6
申请日：2023-09-22
Applicant: 江苏科技大学
Abstract: 本发明公开了一种模拟深海环境摩擦磨损实验装置及实验方法，其实验釜体上设置有水流模拟机构、温度控制机构和海水加快腐蚀机构；水流模拟机构包括置于釜内的由磁场变化带动的涡流扇叶；温度控制机构包括构成空调机理的压缩机、冷凝器、膨胀阀和蒸发器，膨胀阀和蒸发器位于釜体内部海水中；海水加快腐蚀机构包括与同一电源连接的阳极和阴极，所述阳极与试件连接，阴极置于釜体内部海水中。极大程度还原了深海摩擦磨损现场，保证了该实现的可靠，为深海研究提供了理论依据。
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公开(公告)号：CN117086753A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311214978.3
申请日：2023-09-20
Applicant: 江苏科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多面加工的柔性抛光机；属于多面抛光领域，柔性机械臂领域，包括抛光头、抛光定平台、一号液压杆、液压缸、二号液压杆、动平台、固定平台、箱体、高转速电机、外轨道、单相电机、导轨固定架、转动平台、电机螺母、转动电机、大弹簧、棘轮扣、内导轨、电机固定仓、导轮、三位四通电磁阀、螺钉、末端分油器、回油管、输油管、分油器、十字油管、支路油管、移动套筒、密封盖、小弹簧、控制箱、回油总管、孔用抛光头、球形抛光头、锥形抛光头、曲面抛光头、输油总管、控制显示屏、储油箱、油泵。本发明装置包括抛光机构、柔性机械臂机构、整体显示控制机构、油液输送存储箱体，可根据抛光工件要求对工件多个面同时进行抛光，提高抛光效率等需求。
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公开(公告)号：CN116237866A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310359809.2
申请日：2023-03-31
Applicant: 江苏科技大学
IPC: B24B37/005 , B24B37/015 , B24B37/34 , B24B47/12 , B24B49/14 , B24B51/00
Abstract: 本发明涉及研磨抛光机设备技术领域，具体涉及一种可实时温控的研磨抛光机及其控温方法，包括箱体，其内部架设有第一电动机，所述第一电动机的输出轴固定连接设有轴杆，所述轴杆远离所述第一电动机的一端设有抛光盘，所述抛光盘的底部设有加热盘，所述箱体的一侧设有雾化降温组件，所述箱体的顶部设有控温组件，通过第一电动机带动轴杆旋转，通过轴杆带动抛光盘旋转，从而使工件进行研磨工作，通过控温组件监测抛光盘表面的温度，并根据温度控制加热盘和雾化降温组件工作，从而使工件的加工温度可根据需求进行调整管控，进一步保证了工件的加工质量，解决了现有的调温抛光装置，只能进行简单的加热，无法根据工件实施工况的温度进行调节的问题。
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公开(公告)号：CN114984812A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210662943.5
申请日：2022-06-13
Applicant: 江苏科技大学
IPC: B01F29/64 , B01F35/30 , B01F35/32 , B01F35/43 , B01F101/27
Abstract: 本发明涉及晶圆抛光液搅拌装置，包括机架、辅助支撑单元、滚筒、搅拌单元、入料单元、出料单元以及动力部。辅助支撑单元组装于机架上，且协同机架以对滚筒的轴向窜动量和径向偏摆量进行限制。借助入料单元、出料单元分别向着滚筒的内腔输入待混合的抛光液、泵出已混合的抛光液。滚筒和搅拌单元均借助于动力部进行驱动。如此，借由内置于卷筒的搅拌单元可以实现对待混合抛光液的扰动，与此同时，待混合抛光液因受到来自于滚筒内侧壁摩擦力作用而发生周向扰动，进而加剧了抛光液的混合强度。另外，搅拌单元和滚筒的自转方向始终保持反向，混合进程中两股不同流向的抛光液可在小区域内频繁地发生对向碰撞，且因高速扰动可在其局部区域形成稳定紊流。
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