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发明公开
一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法审中-实审

公开(公告)号：CN115976619A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211698456.0

申请日：2022-12-28

Applicant: 河北中瓷电子科技股份有限公司

Inventor： 董伦 , 刘乐 , 牛洪岭 , 李莉 , 樊新召 , 韩茵

IPC: C25D17/10 , C25D3/12 , C25D17/00

Abstract: 本申请适用于电镀技术领域，提供了一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法，该电镀装置包括：多个阳极、阴极、多个套盒、挂具和电源；阳极为长条形状，多个阳极悬挂在挂具上；阳极悬挂在挂具上时的竖直方向的长度大于水平方向的长度；多个阳极在竖直方向的长度不同；套盒与阳极的形状相同，且与阳极接触连接，用于套在特定阳极的外侧；特定阳极为与阴极的目标区域对应的阳极；目标区域为阴极的镍层厚度超过预设阈值的区域；套盒的表面开有通孔，通孔用于调整阳极的裸露面积；电源用于为电镀过程提供电能。本申请的方法能够改善电镀镍的均一性。

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