公开(公告)号：CN113534341B

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202010315538.7

申请日：2020-04-21

Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司

Inventor： 訾幸壮 ,  尹小杰 ,  杨堃 ,  赵青 ,  李彩云 ,  孙静雯 ,  常夏森

IPC: G02B6/124 ,  G02B6/136 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B6/12 ,  G02F1/01

Abstract: 本发明公开了一种基于飞秒激光直写的可调谐波导光栅滤波器及其制造方法，包括晶圆基底，所述晶圆基底的上部设有上包层，上包层的上部依次设有电极层和引线层，且电极层和引线层的宽度均小于上包层的宽度；所述上包层内设有波导芯层，且波导芯层上设有采用飞秒激光直写的波导光栅。本发明采用石英基PLC光波导技术与飞秒激光直写相结合，对现有的工艺进行了改进，降低了开发和工艺成本；实现了在晶圆上制作各种类型的光栅滤波器，通过电极层可以实现波长可调谐，增加了光学芯片系统的灵活性；通过控制飞秒激光的功率、扫描区域宽度、重复扫描次数等，可以控制折射率变化的大小，实现了对光栅参数的精准控制。

公开(公告)号：CN113534341A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202010315538.7

申请日：2020-04-21

Applicant: 河南仕佳光子科技股份有限公司

Inventor： 訾幸壮 ,  尹小杰 ,  杨堃 ,  赵青 ,  李彩云 ,  孙静雯 ,  常夏森

IPC: G02B6/124 ,  G02B6/136 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B6/12 ,  G02F1/01

Abstract: 本发明公开了一种基于飞秒激光直写的可调谐波导光栅滤波器及其制造方法，包括晶圆基底，所述晶圆基底的上部设有上包层，上包层的上部依次设有电极层和引线层，且电极层和引线层的宽度均小于上包层的宽度；所述上包层内设有波导芯层，且波导芯层上设有采用飞秒激光直写的波导光栅。本发明采用石英基PLC光波导技术与飞秒激光直写相结合，对现有的工艺进行了改进，降低了开发和工艺成本；实现了在晶圆上制作各种类型的光栅滤波器，通过电极层可以实现波长可调谐，增加了光学芯片系统的灵活性；通过控制飞秒激光的功率、扫描区域宽度、重复扫描次数等，可以控制折射率变化的大小，实现了对光栅参数的精准控制。