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公开(公告)号：CN110660696B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201910796178.4
申请日：2019-08-27
Applicant: 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，该制造方法在晶片退火之后直接进行甩蜡烘烤、滴蜡测量和滴蜡抛光步骤。滴蜡抛光步骤包括：在烘烤后的蜡膜的表面晶片的正中心一次性滴下预先测定的蜡料；将滴蜡后的晶片的蜡膜面与带有热度的陶瓷盘平面相贴，使蜡滴被挤压形成圆形蜡饼，并相应地在晶片的与蜡膜面相对的背面顶起一与蜡饼形状一致的圆台；对产生圆台的晶片的背面进行抛光，使晶片的背面中间凹陷且圆台的外缘与晶背面的其余部分平滑过渡，并成为中间凹陷底部的圆面。滴蜡设备包括吸盘、点胶阀、储蜡桶、导蜡管和数显调压阀。本发明的蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，省去了晶片弯曲度分选工作，并能大幅提升衬底的产品合格率。
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公开(公告)号：CN109968191A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201811453255.8
申请日：2018-11-30
Applicant: 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种蓝宝石衬底贴片方法，包括点胶阀、滑轨、数显调压阀、储蜡桶。通过该设计方法，将晶片甩蜡烘烤后放置于吸盘上，通过点胶阀在晶片中心位置滴一滴蜡，增加中间位置蜡膜厚度后贴附在陶瓷盘上。人为干预晶片下方蜡膜的厚度来控制加工后晶片的整体形状，该发明可以省略晶片正负BOW分选动作。
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公开(公告)号：CN110660696A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910796178.4
申请日：2019-08-27
Applicant: 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，该制造方法在晶片退火之后直接进行甩蜡烘烤、滴蜡测量和滴蜡抛光步骤。滴蜡抛光步骤包括：在烘烤后的蜡膜的表面晶片的正中心一次性滴下预先测定的蜡料；将滴蜡后的晶片的蜡膜面与带有热度的陶瓷盘平面相贴，使蜡滴被挤压形成圆形蜡饼，并相应地在晶片的与蜡膜面相对的背面顶起一与蜡饼形状一致的圆台；对产生圆台的晶片的背面进行抛光，使晶片的背面中间凹陷且圆台的外缘与晶背面的其余部分平滑过渡，并成为中间凹陷底部的圆面。滴蜡设备包括吸盘、点胶阀、储蜡桶、导蜡管和数显调压阀。本发明的蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，省去了晶片弯曲度分选工作，并能大幅提升衬底的产品合格率。
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公开(公告)号：CN210968391U
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201921665449.4
申请日：2019-09-30
Applicant: 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
IPC: B24B37/34
Abstract: 本实用新型提供的一种下蜡底板以及晶片下蜡装置，涉及晶片制作技术领域，包括：底板本体；转动机构，转动机构设置在底板本体的顶面，以能够使附有晶片的陶瓷盘滚动放置在底板本体的顶面；止挡机构，止挡机构设置在底板本体的出料侧，以能够限制陶瓷盘朝向出料侧的方向运动。在上述技术方案中，该下蜡底板可以单独使用以辅助工作人员手动取下陶瓷盘上的晶片，陶瓷盘置于转动机构上，通过转动机构的滚动作用，能够使陶瓷盘在底板本体上以滚动的方式旋转，每次将陶瓷盘上的一个晶片朝向出料侧。陶瓷盘还能够通过止挡机构被止挡，止挡机构可以限制陶瓷盘朝向出料侧的方向运动。所以，当工作人员利用推片推动晶片时便更加省时省力。
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