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公开(公告)号:CN115347111A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210508754.2
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/047
Abstract: 致动器装置包括配线基板、金属基板、设置于金属基板的第1电极部、配置于第1电极部上的驱动用压电体、配置于驱动用压电体的第1主面的第2电极部、配置于第2电极部上的检测用压电体、配置于检测用压电体的第3主面的第3电极部、连接部、输入部和输出部。连接部构成为与外部的基准电位电连接,第2电极部的电位成为基准电位。输入部构成为从外部向第1电极部输入驱动信号。输出部构成为将在检测用压电体中产生的输出信号从第3电极部向外部输出。
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公开(公告)号:CN115347110A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210509890.3
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/09
Abstract: 配置于金属基板的载置面的驱动用压电元件具有:驱动用压电体,其具有与载置面为相反侧的第1主面、载置面侧的第2主面和侧面;和配置于第1主面的第1电极。驱动用压电元件以载置面的一部分位于侧面的外侧的方式配置于载置面。具有导电性的第2粘接构件具有:配置在载置面与驱动用压电元件之间的第1部分;从第1部分连续,且配置于由载置面的一部分和侧面形成的角部的第2部分。第2部分没有到达第1电极。
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公开(公告)号:CN115417369A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202210509912.6
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种致动器装置。由配线基板支撑的金属基板具有可动部、第1延伸部、将第1延伸部与可动部连结的第1连结部、和与第1延伸部连接的第1连接部。第1连接部包括:固定于配线基板的第1固定区域;和与第1延伸部和第1固定区域连接的第1连接区域。第1连接区域包含第1弯曲部分。第1弯曲部分具有可动部侧的第1外缘和与可动部为相反侧的第2外缘,第1外缘和第2外缘分别在从Z轴方向观察的情况下向可动部侧弯曲。
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公开(公告)号:CN115340059A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210509909.4
申请日:2022-05-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种致动器装置。由配线基板支撑的金属基板具有第1延伸部、和与第1延伸部连接的第1连接部。第1连接部包含在Z轴方向上与配线基板的部分相对的第1区域、从第1区域连续的第2区域、和从第2区域连续的第3区域。在从Z轴方向观察的情况下,垂直于第3区域与第2区域连接的连接方向的方向上的第2区域的宽度,比该方向上的第3区域的宽度大。将配线基板与金属基板粘接的第1粘接构件具有:配置在该部分与第1区域之间的第1部分;和第2部分,其从第1部分连续,到达第2区域而没有到达第3区域。
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