公开(公告)号：CN212695121U

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202020630596.4

申请日：2020-04-23

Applicant: 海太半导体(无锡)有限公司

Inventor： 张伟 ,  孔杰 ,  王燕军 ,  刘星 ,  施伟峰 ,  黄春桃 ,  位冬冬 ,  常成建 ,  边毅 ,  刘洪岭 ,  周韩瑞 ,  程蛟 ,  刘许明 ,  鲍月胜 ,  朱凯 ,  曹亚兵 ,  赵尚尚 ,  关饷 ,  张庆松 ,  张华明 ,  汪庆喜 ,  尤晓 ,  廖志远 ,  吴辉云 ,  陈亮 ,  何伟

IPC: H01L21/66

Abstract: 本实用新型提供一种晶圆移动轨道传感器感应系统，包括传感器，时间继电器，电磁阀和流量计；其特征在于，所述传感器位于设备前段，所述传感器的信号输出端与时间继电器相连，所述时间继电器的输出端与电磁阀相连，所述电磁阀通过管道与流量计相连；本实用新型通过进料位置的传感器的感应，和新增的设备时间继电器的衔接，可以检测空焊资材在移动的整个过程中清除情况，清除的能力由流量的实时监控进行体现，最后通过视觉系统的及时探测和反馈异常资材发生。

公开(公告)号：CN211827010U

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN202020629838.8

申请日：2020-04-23

Applicant: 海太半导体(无锡)有限公司

Inventor： 张伟 ,  黄春桃 ,  孙广良 ,  位冬冬

IPC: G05B19/418

Abstract: 本实用新型提供一种基于基板监控的自动清洗系统，其特征在于，包括物料运输模块，物料反馈模块与物料清洗模块，所述物料运输模块通过中心网络与物料反馈模块和物料清洗模块连接；所述物料运输模块包括物料网络、物料运输、物料检测和物料对接四大板块，所述物料网络统合物料运输、物料检测和物料对接三大板块并进行信息交互；所述物料反馈模块包括网络反馈系统和物料示警系统两大板块，所述网络反馈系统物料示警系统的启动控制；所述物料清洗系统包括物料清理和信息传输两大板块组成；本实用新型通过在基板传送过程中增加清洁板块，并增加检测部分有效的对异物进行了清洁，减少了异物的存在，从而减少了虚焊的情况。